Bot Kaca Kuarza Silika Lebur Jernih Diperibadikan untuk Tenaga Surya

Pengenalan kepada Bot Kuarsa

Bot Kuarsa, yang dikenali secara khusus dalam industri semikonduktor sebagai Bot Wafer atau Bot Proses, adalah komponen presisi tinggi yang diperbuat daripada kuarsa lebur ultra tulen. Ia direka untuk memegang dan mengangkut wafer silikon semasa pelbagai proses pengilangan suhu tinggi.

Fungsi utamanya adalah sebagai pembawa atau rak, memastikan beberapa wafer dipegang dengan kukuh dalam kedudukan menegak yang dipisahkan secara tepat semasa diproses di dalam relau dan ruang tindak balas.

Ciri-ciri Utama

1). Rintangan Suhu Tinggi Luar Biasa:
Kuarsa lebur boleh menahan suhu melebihi 1100°C tanpa melunak atau berubah bentuk, yang penting untuk proses seperti resapan dan pengoksidaan.

2). Ketulenan Sangat Tinggi:
Ia diperbuat daripada kuarsa sintetik berketulenan tinggi, yang hampir bebas daripada bendasing logam. Ini mengelakkan pencemaran terhadap wafer silikon yang sensitif, yang merupakan perkara kritikal untuk mencapai hasil produk dan prestasi yang tinggi.

3). Kestabilan Terma Unggul:
Kuarsa mempunyai pekali pengembangan haba yang sangat rendah, bermaksud ia mampu menahan kitaran pemanasan dan penyejukan yang pantas (kejutan terma) tanpa retak.

4). Sifat Kimia Yang Sangat Lengai:
Ia mempunyai rintangan yang tinggi terhadap kakisan akibat kebanyakan asid, halogen, dan gas proses agresif lain yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor.

5). Kejuruteraan Tepat:
Perahu ini dilengkapi alur atau slot yang direka dengan teliti untuk memegang wafer dengan kukuh tanpa menyebabkan tekanan atau penghasilan zarah, serta memastikan pendedahan seragam kepada gas proses dan haba.

6) Kekuatan Mekanikal & Kestabilan Tinggi
Mengekalkan integriti struktur dan kestabilan dimensi di bawah beban berat pada suhu tinggi, mengelakkan lenturan wafer.
Bot kuarza adalah penting dalam pembuatan semikonduktor kerana rintangan suhu tinggi yang luar biasa dan ketulenan ultra tinggi, yang mengelakkan pencemaran. Rintangan hentakan terma yang unggul serta keengganan kimia yang sangat baik membolehkannya berfungsi dengan boleh dipercayai dalam persekitaran proses yang mencabar. Selain itu, kejuruteraan tepatnya memastikan wafer diproses secara seragam dan tanpa kerosakan.

Kelebihan bot kuarza

1) Rintangan Suhu Tinggi:
Suhu takat lembut kaca kuarza adalah sekitar 1730℃, yang boleh digunakan pada suhu 1200℃ untuk jangka masa panjang. Suhu penggunaan pendek boleh mencapai 1450℃.

2) Kestabilan Terma yang Baik: Pelepasan haba kaca kuarza adalah kecil, mampu menahan perubahan suhu yang drastik, kaca kuarza yang dipanaskan hingga sekitar 1200 ℃, apabila dimasukkan ke dalam air suhu bilik tidak akan meletup.

3)Ketahanan Terhadap Kakisan: Kecuali asid hidrofluorik, kaca kuarsa hampir tidak bertindak balas secara kimia dengan asid lain, dan ketahanannya terhadap asid adalah 30 kali ganda berbanding tembikar dan 150 kali ganda berbanding keluli tahan karat.

4)Penebat yang Kuat: Nilai rintangan kaca kuarsa setara dengan 10,000 kali ganda berbanding kaca biasa, menjadikannya bahan penebat elektrik yang sangat baik serta mempunyai prestasi penebatan yang baik pada suhu bilik.

5)Ketelusan Cahaya yang Baik: Mempunyai ketelusan cahaya yang baik di seluruh spektrum panjang gelombang dari ultraviolet hingga inframerah, kadar penghantaran cahaya kelihatan 93% atau lebih di kawasan spektrum ultraviolet, dan kadar penghantaran 80 atau lebih.

Aplikasi biasa

Pembawa Wafer untuk Proses Suhu Tinggi: Fungsi utamanya adalah untuk memegang dan mengangkut wafer silikon di dalam relau dan kebuk tindak balas.
Penting untuk Pendopan dan Peresapan: Membolehkan pengenalan bendasing ke dalam wafer silikon untuk mencipta transistor dan litar.
Penting untuk Pengoksidaan Terma: Digunakan untuk menumbuhkan lapisan oksida penebat pada wafer.
Sokongan dalam Pemendapan Filem Nipis (CVD): Menyokong wafer semasa proses salutan.
Asas dalam Pengeluaran Sel Suria: Digunakan untuk menghasilkan simpang p-n dalam sel fotovoltaik.

Secara keseluruhannya, di mana-mana pemprosesan wafer silikon atau substrat seumpamanya yang memerlukan kebersihan tinggi dan suhu tinggi diperlukan, bot kuarza merupakan alat yang mustahak.
1). Pengeluaran Semikonduktor (Aplikasi Utama)
Pengoksidaan Terma: Digunakan untuk membawa wafer silikon dalam relau suhu tinggi bagi menumbuhkan lapisan nipis silikon dioksida (SiO₂) yang seragam pada permukaan wafer.
Resapan: Digunakan dalam proses pendopan di mana wafer didedahkan kepada gas dopan pada suhu tinggi untuk mengubah sifat elektrik silikon.
Pemendapan Fasa Wap Kimia (CVD): Berfungsi sebagai pemegang wafer semasa proses yang mendepositkan filem nipis bahan-bahan tertentu.
Pelanuhan: Digunakan dalam relau untuk melunakan wafer (dipanaskan dan disejukkan perlahan) bagi membaiki kerosakan hablur atau mengaktifkan pendopan.

2). Industri Fotovoltaik (PV)
Digunakan dalam proses resapan untuk mencipta simpang p-n, yang merupakan teras utama sel suria.
Juga digunakan dalam langkah-langkah pemprosesan suhu tinggi lain bagi wafer suria silikon.

3). Pembuatan LED dan MEMS
Penting bagi langkah-langkah pemprosesan suhu tinggi yang terlibat dalam pengeluaran Diod Pemancar Cahaya (LED) dan Sistem Mikro-Elektro-Mekanikal (MEMS).
Tiub ujian kuartz adalah komponen makmal dan perindustrian berprestasi tinggi yang sangat diperlukan, diperbuat daripada silika lebur berkualiti tinggi dengan kandungan silika sebanyak 99.9% atau lebih, manakala varian premium boleh mencapai ketulenan SiO₂ sehingga 99.99%. Proses pengeluaran melibatkan peleburan hablur kuartz semula jadi pada suhu sangat tinggi iaitu kira-kira 2000°C, diikuti dengan teknik pemprosesan tepat seperti peregangan dan pembentukan untuk memastikan ketebalan dinding yang seragam dan integriti struktur. Tiub-tiub ini berbeza daripada kaca biasa dan alternatif borosilikat kerana gabungan luar biasa sifat terma, kimia, optik, dan mekanikalnya, menjadikannya tidak dapat digantikan dalam pelbagai situasi yang memerlukan prestasi tinggi.

  
Parameter Teknikal