پلاک 21، خیابان چائویانگ شرقی، ساختمان A، پلازا دونگشنگمینگدو، لیانیونگانگ جیانگسو، چین +86-13951255589 [email protected]
اندازهٔ قایق کوارتز شفاف
اندازهای که اغلب تولید میکنیم عبارت است از ۴ اینچ، ۶ اینچ، ۸ اینچ و غیره. و ما میتوانیم آن را بر اساس نیاز مشتریان طراحی و سفارشیسازی کنیم.
سختی
سختی مُه حدوداً 7، مشابه شیشه
خلوص SiO₂
خلوص دیاکسید سیلیسیوم، معمولاً ≥99.99%برای بوتههای نیمههادی
بیشینه دمای عملکرد
بالاترین دمایی که قایق کوارتز میتواند بهصورت پیوسته تحمل کند، تا 1100℃
دمای کار کوتاهمدت 1200℃
جزئیات محصول
۱. معرفی قایق کوارتز
قایق کوارتز، که در صنعت نیمههادیها بهطور خاص با نامهای قایق ویفر یا قایق فرآیندی شناخته میشود، قطعهای با دقت بالا است که از کوارتز ذوبشده با خلوص بسیار بالا ساخته میشود. این قطعه برای نگهداری و حمل ویفرهای سیلیکونی در فرآیندهای تولید مختلف با دمای بالا طراحی شده است.
عملکرد اصلی آن، استفاده به عنوان حامل یا قفسه است که اطمینان حاکم میآورد چندین ویفر بهصورت ایمن و با فاصله دقیق در موقعیت عمودی نگه داشته شوند، در حالی که در داخل کورهها و محفظههای واکنش پردازش میشوند.
۲. ویژگیهای کلیدی
۲.۱ مقاومت استثنایی در برابر دماهای بالا:
کوارتز ذوب شده میتواند بدون نرم شدن یا تغییر شکل، دماهایی بالاتر از 1100°C را تحمل کند که برای فرآیندهایی مانند انتشار و اکسیداسیون ضروری است.
۲.۲ خلوص فوقالعاده بالا:
این محصول از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا ساخته شده است که تقریباً فاقد ناخالصیهای فلزی است. این ویژگی مانع آلوده شدن ویفرهای حساس سیلیکونی میشود که برای دستیابی به بازده و عملکرد بالای محصول بسیار حیاتی است.
۲٫۳ پایداری حرارتی عالی:
کوارتز ضریب بسیار پایینی در انبساط حرارتی دارد، بدین معنا که میتواند چرخههای سریع گرمایش و سرمایش (ضربه حرارتی) را بدون ترک خوردن تحمل کند.
۲٫۴ بیواکنشی شیمیایی عالی:
این ماده در برابر خوردگی ناشی از اغلب اسیدها، هالوژنها و سایر گازهای فرآیندی خورنده مورد استفاده در ساخت نیمههادیها مقاومت بسیار بالایی دارد.
۲٫۵ استحکام مکانیکی و پایداری بالا
تحت بارهای سنگین و در دمای بالا، یکپارچگی ساختاری و پایداری ابعادی خود را حفظ میکند و از تاب برداشتن ویفرها جلوگیری میکند.
قایق کوارتز به دلیل مقاومت بسیار بالا در برابر دما و خلوص فوقالعاده زیاد، که از آلودگی جلوگیری میکند، در تولید نیمههادیها ضروری است. مقاومت عالی آن در برابر شوک حرارتی و بیاثری شیمیایی عالی اجازه میدهد تا در محیطهای فرآیند سخت عملکرد قابل اعتمادی داشته باشد. علاوه بر این، مهندسی دقیق آن تضمین میکند که ویفرها به طور یکنواخت و بدون آسیب پردازش شوند.
۳. مزایای قایق کوارتز
۳.۱ مقاومت بالا در برابر حرارت:
دمای نقطه نرمی شیشه کوارتز حدود ۱۷۳۰ درجه سانتیگراد است که میتواند بهمدت طولانی در دمای ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد استفاده شود استفاده طولانیمدت در دمای ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد دمای استفاده کوتاهمدت میتواند به ۱۴۵۰ درجه سانتیگراد برسد.
۳.۲ پایداری حرارتی خوب:
شیشه کوارتز ضریب انبساط حرارتی کوچک است , میتواند تحمل تغییرات شدید دما شیشه کوارتز را میتوان تا حدود ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد گرم کرد و سپس در آب اتاق قرار داد بدون اینکه منفجر شود.
۳٫۳ مقاومت در برابر خوردگی:
به جز اسید هیدروفلوئوریک شیشه کوارتز تقریباً از نظر شیمیایی با سایر اسیدها واکنش نمیدهد و مقاومت اسیدی آن ۳۰ برابر سرامیک و ۱۵۰ برابر فولاد ضدزنگ است.
۳٫۴ عایلبندی قوی:
مقادیر مقاومت الکتریکی شیشه کوارتز معادل ۱۰۰۰۰ برابر شیشه معمولی است و از اینرو مادهای عالی برای عایلبندی الکتریکی محسوب میشود و عملکرد عالی عایلبندی را در دمای اتاق دارد.
۳٫۵ عبور خوب نور:
در کل طیف امواج فرابنفش تا مادون قرمز دارای عبور نوری خوبی هستند , نرخ عبور نور مرئی ۹۳ درصد یا بیشتر در ناحیه طیف فرابنفش، نرخ عبور ۸۰ یا بیشتر.
۴. کاربردهای رایج
ناقل وافر برای فرآیندهای دمای بالا: عملکرد اصلی آن نگهداری و حمل وافرهای سیلیکونی در کورهها و محفظههای واکنش است.
حیاتی برای آلایش و پخش: امکان ایجاد ناخالصی در ویفرهای سیلیکونی را فراهم میکند تا ترانزیستورها و مدارها ساخته شوند.
ضروری برای اکسیداسیون حرارتی: برای رشد لایههای عایق اکسید روی ویفرها استفاده میشود.
نگهدارنده در رسوب لایه نازک (CVD): ویفرها را در حین فرآیندهای پوششدهی نگه میدارد.
پایه در تولید سلول خورشیدی: برای ساخت اتصال p-n در سلولهای فتوولتائیک استفاده میشود.
در واقع، هر جا که پردازش فوقالعاده تمیز و با دمای بالا از ویفرهای سیلیکونی یا زیرلایههای مشابه مورد نیاز باشد، قایق کوارتز یک ابزار ضروری است.
۴.۱ تولید نیمههادیها (کاربرد اصلی)
اکسیداسیون حرارتی: برای حمل ویفرهای سیلیکونی در کورههای دمای بالا به منظور ایجاد یک لایه نازک و یکنواخت از دیاکسید سیلیکون (SiO₂) روی سطح ویفر استفاده میشود.
پخشپذیری: در فرآیندهای آلایش استفاده میشود که در آن ویفرها در دمای بالا در معرض گازهای آلاینده قرار میگیرند تا خواص الکتریکی سیلیکون تغییر کند.
رسوب بخار شیمیایی (CVD): به عنوان نگهدارنده ویفرها در فرآیندهایی که لایههای نازک مواد مختلف را رسوب میدهند، عمل میکند.
آنیلینگ: در کورهها برای آنیل کردن وافرهای نیمههادی (گرم کردن و سپس خنکسازی تدریجی) به منظور ترمیم آسیبهای بلوری یا فعالسازی ناخالصیها استفاده میشود.
۴.۲ صنعت فتوولتائیک (PV)
در فرآیند انتشار برای ایجاد اتصال p-n، که قلب اصلی سلول خورشیدی است، استفاده میشود.
همچنین در سایر مراحل پردازش در دمای بالا برای وافرهای سیلیکونی خورشیدی بهکار میرود.
ساختوساز الایدی و مِمْس
برای مراحل پردازش با دمای بالا که در تولید دیودهای نورگذار (LED) و سیستمهای میکرو الکترومکانیکی (MEMS) مورد استفاده قرار میگیرند، ضروری است.
لولههای آزمایشی از جنس کوارتز، اجزای ضروری و پربازده آزمایشگاهی و صنعتی هستند که از سیلیس منصهر با درجه خلوص بالا ساخته میشوند و معمولاً حاوی ۹۹٫۹ درصد یا بیشتر سیلیس هستند، با انواع برتر خلوص ۹۹٫۹۹ درصد SiO₂ میرسند . فرآیند ساخت شامل ذوب بلورهای طبیعی کوارتز در دمای بسیار بالا حدود ۲۰۰۰ درجه سانتیگراد و سپس استفاده از روشهای دقیق پردازشی مانند کشیدن و شکلدهی برای اطمینان از یکنواختی ضخامت دیواره و استحکام ساختاری است. این لولهها به دلیل ترکیب استثنایی خواص حرارتی، شیمیایی، نوری و مکانیکیشان، از سایر انواع شیشه و شیشههای بوروسیلیکات متمایز میشوند و در بسیاری از سناریوهای پرتلاش جایگزینی ندارند.
پارامترهای فنی
| محتوای ملک | واحد | شاخص املاک |
| چگالی | گرم بر سانتیمتر مکعب | 1.9-2.0 |
| استحکام کششی | Pa(N/m²) | ۴/۹×۱۰⁷ |
| مقاومت فشرده شدن | Pa | >1.0×10⁸ |
| ضریب انبساط حرارتی | cm/cm·℃ | ۵/۴×۱۰⁻⁷ |
| هدایت حرارتی | W/m·℃ | پایین |
| گرمای ویژه | J/kg·℃ | 650 |
| نقطه نرم شدن | ℃ | 1600 |
| نقطه ترموشکافی | ℃ | 1100 |
| آلومینیوم | آهن | پتاسیم | لیتیوم | مس | سدیم | بور | کلسیم | مگنز |
| AL | ف | K | LI | Cu | NA | B | Ca | Mg |
| 65 | 1.17 | 4.4 | 7.21 | 0.13 | 5 | 0.1 | 1.21 | 0.07 |
تاریخچه توسعه

ثبت اختراعات و گواهینامهها

بسته

خدمات
پرسشهای متداول