9F, Буд. A Донгшенмінду Плаза, №21, Чавоу Іст Роуд, Ляньюнган, Цзянсу, Китай +86-13951255589 [email protected]
Розмір кварцових човнів із прозорого кварцу
Розміри, які ми найчастіше виготовляємо, — це 4 дюйми, 6 дюймів, 8 дюймів тощо. Також ми можемо розробити та адаптувати продукт відповідно до вимог клієнтів.
Твердість
Твердість за шкалою Мооса приблизно 7, подібно до скла
Чистота SiO₂
Чистота двооксиду кремнію, зазвичай ≥99.99%для тиглів класу напівпровідників
Максимальна робоча температура
Найвища температура, яку кварцовий човен може витримувати безперервно, до 1100℃
Температура короткочасної роботи — 1200℃
Деталі продукту
1. Вступ до кварцового човна
Кварцовий човен, також відомий у напівпровідниковій промисловості як човен для пластина або технологічний човен, — це високоточний компонент, виготовлений із високочистого сплавленого кварцу. Він призначений для тримання та транспортування кремнієвих пластин під час різних високотемпературних виробничих процесів.
Його основна функція — слугувати носієм або стелажем, забезпечуючи надійне утримання декількох пластин у строго визначеному вертикальному положенні під час їх обробки всередині печей та реакційних камер.
2. Ключові характеристики
2.1 Виняткова стійкість до високих температур:
Сплавлений кварц може витримувати температури понад 1100 °C без м'якнення чи деформації, що є важливим для таких процесів, як дифузія та окиснення.
2.2 Ультрависока чистота:
Виготовлений із високочистого синтетичного кварцу, який практично не містить металевих домішок. Це запобігає забрудненню чутливих кремнієвих пластин, що є критично важливим для досягнення високого виходу продукції та її ефективності.
2.3 Надзвичайна термічна стабільність:
Кварц має дуже низький коефіцієнт теплового розширення, що означає здатність витримувати швидкі цикли нагрівання та охолодження (термічний удар) без утворення тріщин.
2.4 Відмінна хімічна інертність:
Він має високу стійкість до корозії від більшості кислот, галогенів та інших агресивних технологічних газів, що використовуються у виробництві напівпровідників.
2.5 Висока механічна міцність і стабільність
Зберігає цілісність структури та розмірну стабільність під великим навантаженням при високих температурах, запобігаючи деформації пластин.
Кварцовий човен є важливим елементом у виробництві напівпровідників завдяки своїй винятковій стійкості до високих температур та надвисокій чистоті, що запобігає забрудненню. Його висока стійкість до термічних ударів і чудова хімічна інертність дозволяють надійно працювати в жорстких умовах процесів. Крім того, завдяки прецизійному проектуванню забезпечується рівномірна обробка пластин без пошкоджень.
3.Преваги кварцевого човна
3.1 Стійкість до високих температур:
Температура точки розмивання кварцевого скла становить близько 1730°C, що може бути використовується при 1200°C протягом тривалого часу - Я не знаю. Термометра короткого використання може досягати 1450°C.
3.2 Хороша теплова стабільність:
Кварцеве скло коефіцієнт теплового розширення невеликий , може витримувати різкі зміни температури , кварцове скло, нагріте до приблизно 1200 ℃, при зануренні у воду кімнатної температури не розривається.
3.3 Стійкість до корозії:
Крім плавикової кислоти , кварцове скло майже не вступає в хімічну реакцію з іншими кислотами, а його стійкість до кислот у 30 разів вища, ніж у кераміки, і в 150 разів вища, ніж у нержавіючої сталі.
3.4 Висока діелектрична міцність:
Опір кварцового скла у 10 000 разів вищий, ніж у звичайного скла , що робить його чудовим діелектричним матеріалом із відмінними ізоляційними властивостями за кімнатної температури.
3.5 Висока прозорість для світла:
У всьому спектрі ультрафіолетових до інфрачервоних довжин хвилі мають хорошу прозорість для світла , коефіцієнт пропускання видимого світла — 93 % або більше в ультрафіолетовій частині спектра, коефіцієнт пропускання — 80 або більше.
4. Поширені сфери застосування
Контейнер для кремнієвих пластинах у процесах з високою температурою: основне призначення — тримати та транспортувати кремнієві пластинах у печах і реакційних камерах.
Важливо для легування та дифузії: Дозволяє введення домішок у кремнієві пластини для створення транзисторів і мікросхем.
Необхідний для термічного окиснення: використовується для створення ізолюючих оксидних шарів на пластинах.
Підтримка під час осадження тонких плівок (CVD): утримує пластини під час процесів нанесення покриття.
Основа виробництва сонячних елементів: використовується для виготовлення p-n-переходу у фотогальванічних елементах.
По суті, у будь-яких процесах обробки кремнієвих пластин або подібних матеріалів за умов надвисокої чистоти та високих температур кварцовий човник є незамінним інструментом.
4.1 Виробництво напівпровідників (основна сфера застосування)
Термічне окиснення: використовується для транспортування кремнієвих пластин у високотемпературні пічі з метою створення тонкого, рівномірного шару діоксиду кремнію (SiO₂) на поверхні пластини.
Дифузія: застосовується в процесах легування, коли пластини піддаються впливу газоподібних домішок при високих температурах для зміни електричних властивостей кремнію.
Хімічне осадження з парової фази (CVD): слугує тримачем для пластин під час процесів нанесення тонких плівок різних матеріалів.
Відпал: Використовується в печах для відпалювання пластин (нагрівання та повільне охолодження), щоб виправити пошкодження кристалічної структури або активувати легуючі домішки.
4.2 Фотоелектрична (PV) промисловість
Використовується в процесі дифузії для створення p-n переходу, який є основним елементом сонячної комірки.
Також використовуються в інших обробка при високих температурах етапах обробки кремнієвих сонячних пластинах.
4.3 Виготовлення LED і MEMS
Необхідний для етапів обробки при високих температурах, пов’язаних із виробництвом світлодіодів (LED) та мікроелектромеханічних систем (MEMS).
Кварцові пробірки — це незамінні компоненти високої продуктивності для лабораторного й промислового використання, виготовлені з високочистого плавленого кварцу, який зазвичай містить 99,9 % або більше кремнію, а також варіанти підвищеної якості досягають чистоти SiO₂ 99,99 % . У процесі виробництва природні кварцові кристали плавлять при надвисокій температурі близько 2000 °C, після чого застосовують точні технології обробки, такі як витягування та формування, щоб забезпечити рівномірну товщину стінок і структурну міцність. Ці пробірки відрізняються від звичайного скла та боросилікатних аналогів завдяки їхній винятковій поєднаності термічних, хімічних, оптичних і механічних властивостей, що робить їх незамінними в багатьох високовимогливих сценаріях.
Технічні параметри
| Властивість Вміст | Одиниця | Показник властивостей |
| Щільність | г/см³ | 1.9-2.0 |
| Межа міцності при розтягуванні | Па(Н/м²) | 4,9×10⁷ |
| Модуль стиснення | Pa | >1.0×10⁸ |
| Коефіцієнт теплового розширення | см/см·℃ | 5,4×10⁻⁷ |
| Теплопровідниковість | Вт/м·℃ | Низькими, |
| Питома теплоємність | Дж/кг·℃ | 650 |
| Точка зм'якчення | ℃ | 1600 |
| Точка відпалу | ℃ | 1100 |
| Алюмінії | Залізо | Калій | Літій | Мідь | Натрій | Бор | Кальцій | Магній |
| Метал | Fe | К | Лі | Cu | НА | B | Ca | Mg |
| 65 | 1.17 | 4.4 | 7.21 | 0.13 | 5 | 0.1 | 1.21 | 0.07 |
Історія розвитку

Патенти та сертифікація

Упаковка

Послуги
Питання та відповіді
Спеціальна ароматична паличка із пористої кераміки для автомобілів
Високотеплопровідна деталь з алюміній нітриду ALN, керамічна ізоляційна компонента
Круглий прозорий диск із сплавленого кварцу з високою передачею УФ-випромінювання
Індивідуальний мікропористий полімерний ПЕТ-матеріал для зберігання олії, інтегрована вата