Прозрачный кварцевый сосуд из плавленого кремнезема по индивидуальному заказу для солнечной энергии

Технические характеристики продукта

1. Введение в кварцевую лодочку

Кварцевая лодочка, также известная в полупроводниковой промышленности как лодочка для пластин или технологическая лодочка, представляет собой высокоточный компонент, изготовленный из высокочистого сплавленного кварца. Она предназначена для удержания и транспортировки кремниевых пластин в ходе различных высокотемпературных производственных процессов.

Его основная функция — служить держателем или каркасом, обеспечивая надежное размещение нескольких пластин в строго фиксированном вертикальном положении во время обработки внутри печей и реакционных камер.

2. Ключевые характеристики

2.1 Исключительная термостойкость:
Плавленый кварц способен выдерживать температуры выше 1100 °C без размягчения или деформации, что крайне важно для таких процессов, как диффузия и окисление.

2.2 Ультравысокая чистота:
Он изготовлен из высокочистого синтетического кварца, который практически не содержит металлических примесей. Это предотвращает загрязнение чувствительных кремниевых пластин, что критически важно для достижения высокого выхода продукции и ее производительности.

2.3 Превосходная термостойкость:
Кварц имеет очень низкий коэффициент теплового расширения, что означает возможность выдерживать быстрые циклы нагрева и охлаждения (термоудар) без растрескивания.

2.4 Отличная химическая инертность:
Он обладает высокой устойчивостью к коррозии от большинства кислот, галогенов и других агрессивных технологических газов, используемых при изготовлении полупроводников.

2.5 Высокая механическая прочность и стабильность
Сохраняет целостность конструкции и размерную стабильность под большой нагрузкой при высоких температурах, предотвращая коробление пластин.
Кварцевая лодочка необходима для производства полупроводников благодаря исключительной устойчивости к высоким температурам и сверхвысокой чистоте, которые предотвращают загрязнение. Её превосходная устойчивость к термическим ударам и отличная химическая инертность позволяют надёжно работать в жёстких производственных условиях. Кроме того, точная инженерная конструкция обеспечивает равномерную обработку пластин без повреждений.

3. Преимущества кварцевой лодочки

3.1 Стойкость к высоким температурам:
Температура точки размягчения кварцевого стекла составляет около 1730 ℃, что позволяет использовать его при 1200 ℃ в течение длительного времени . Кратковременная рабочая температура может достигать 1450 ℃. 3.2 Хорошая термостабильность:

коэффициент теплового расширения мал

Кварцевое стекло ., может выдерживать резкие перепады температуры , кварцевое стекло, нагретое до примерно 1200 ℃, при погружении в воду комнатной температуры не разрушается.

3.3 Стойкость к коррозии:

За исключением плавиковой кислоты , кварцевое стекло практически не вступает в химическую реакцию с другими кислотами, а его стойкость к кислотам в 30 раз выше, чем у керамики, и в 150 раз выше, чем у нержавеющей стали.

3.4 Высокая электрическая изоляция:

Сопротивление кварцевого стекла в 10 000 раз выше, чем у обычного стекла , что делает его отличным электроизоляционным материалом с хорошими изоляционными свойствами при комнатной температуре.

3.5 Хорошая светопропускаемость:

Во всём спектре ультрафиолетового и инфракрасного излучения обладают высокой светопропускной способностью , коэффициент пропускания видимого света — 93 % и более в ультрафиолетовой области спектра, коэффициент пропускания — 80 и более.

4. Типичные области применения

Кассета для кремниевых пластин при высокотемпературных процессах: основная функция — удержание и транспортировка кремниевых пластин в печах и реакционных камерах.
Критически важна для легирования и диффузии: позволяет внедрять примеси в кремниевые пластины для создания транзисторов и интегральных схем.
Необходим для термического окисления: используется для выращивания изолирующих оксидных слоев на пластинах.
Применяется при осаждении тонких пленок (CVD): удерживает пластины в процессе нанесения покрытий.
Основа в производстве солнечных элементов: используется для изготовления p-n перехода в фотоэлектрических элементах.

По сути, везде, где требуется сверхчистая обработка при высоких температурах кремниевых пластин или аналогичных подложек, кварцевая лодочка является незаменимым инструментом.

4.1 Производство полупроводников (основная область применения)

Термическое окисление: используется для транспортировки кремниевых пластин в печах высокой температуры с целью выращивания тонкого, равномерного слоя диоксида кремния (SiO₂) на поверхности пластины.
Диффузия: применяется в процессах легирования, при которых пластины подвергаются воздействию газов-легирующих примесей при высоких температурах для изменения электрических свойств кремния.
Химическое осаждение из газовой фазы (CVD): служит держателем для пластин в процессах нанесения тонких пленок различных материалов.
Отжиг: используется в печах для отжига пластин (нагрев и медленное охлаждение) с целью восстановления кристаллической структуры или активации легирующих примесей.

4.2 Фотоэлектрическая промышленность (PV)

Используется в процессе диффузии для создания p-n перехода, который является основой солнечного элемента.
Также применяются на других высокотемпературной обработки этапах обработки кремниевых солнечных пластин.

4.3 Изготовление светодиодов и MEMS

Необходим для высокотемпературных технологических процессов при изготовлении светоизлучающих диодов (СИД) и микроэлектромеханических систем (МЭМС).
Кварцевые пробирки — это незаменимые высокопроизводительные лабораторные и промышленные компоненты, изготовленные из высокочистого кварцевого стекла, обычно содержащего 99,9 % или более диоксида кремния, с премиальными вариантами чистота SiO₂ достигает 99,99 % . Процесс изготовления включает плавление природных кварцевых кристаллов при сверхвысокой температуре около 2000 °C с последующей точной обработкой методами, такими как вытягивание и формовка, что обеспечивает равномерную толщину стенок и структурную целостность. Эти пробирки выгодно отличаются от обычного стекла и боросиликатного стекла благодаря исключительному сочетанию термических, химических, оптических и механических свойств, что делает их незаменимыми во многих высокотребовательных областях применения.

  
Технические параметры

История развития

Патенты и сертификаты

Упаковка

Услуги                                                                         

Часто задаваемые вопросы