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Tamaño del barco de cuarzo transparente
El tamaño que solemos fabricar es 4 pulgadas, 6 pulgadas, 8 pulgadas etc. Asimismo, podemos diseñarlo y personalizarlo según los requisitos del cliente.
Dureza
Dureza Mohs de aproximadamente 7, similar a la del vidrio
Pureza de SiO₂
Pureza de dióxido de silicio, típicamente ≥99.99%para crisoles de grado semiconductor
Temperatura máxima de funcionamiento
La temperatura más alta que el barco de cuarzo puede soportar continuamente, hasta 1100℃
La temperatura de funcionamiento a corto plazo es 1200℃
Detalles del producto
1. Introducción a la embarcación de cuarzo
Una embarcación de cuarzo, también denominada específicamente en la industria de semiconductores embarcación para obleas o embarcación de proceso, es un componente de alta precisión fabricado con cuarzo fundido de alta pureza. Está diseñada para sostener y transportar obleas de silicio durante diversos procesos de fabricación a altas temperaturas.
Su función principal es actuar como portador o bastidor, asegurando que múltiples obleas se mantengan firmemente en una posición vertical y espaciadas con precisión mientras se procesan dentro de hornos y cámaras de reacción.
2. Características clave
2.1 Resistencia excepcional a altas temperaturas:
El cuarzo fundido puede soportar temperaturas superiores a 1100°C sin ablandarse o deformarse, lo cual es esencial para procesos como la difusión y la oxidación.
2.2 Pureza ultrarralta:
Está fabricado con cuarzo sintético de alta pureza, que prácticamente carece de impurezas metálicas. Esto evita la contaminación de las obleas de silicio sensibles, lo cual es fundamental para lograr altos rendimientos y un buen rendimiento del producto.
2.3 Estabilidad térmica superior:
El cuarzo tiene un coeficiente de expansión térmica muy bajo, lo que significa que puede soportar ciclos rápidos de calentamiento y enfriamiento (choque térmico) sin agrietarse.
2.4 Inercia química excelente:
Presenta una alta resistencia a la corrosión causada por la mayoría de los ácidos, halógenos y otros gases agresivos utilizados en la fabricación de semiconductores.
2.5 Alta resistencia mecánica y estabilidad
Mantiene la integridad estructural y la estabilidad dimensional bajo cargas elevadas a altas temperaturas, evitando el pandeo de las obleas.
El barco de cuarzo es esencial para la fabricación de semiconductores debido a su excepcional resistencia a altas temperaturas y pureza ultrapura, que evita la contaminación. Su superior resistencia al choque térmico y su excelente inertidad química le permiten funcionar de manera confiable en entornos de proceso severos. Además, su ingeniería de precisión garantiza que las obleas se procesen de forma uniforme y sin daños.
3.Ventajas del barco de cuarzo
resistencia a altas temperaturas:
La temperatura de punto de ablandamiento del vidrio de cuarzo es de aproximadamente 1730°C, lo que puede ser utilizado a 1200°C durante mucho tiempo - ¿ Qué? La temperatura de uso a corto plazo puede alcanzar los 1450°C.
3.2 Buena estabilidad térmica:
Vidrio de cuarzo el coeficiente de expansión térmica es pequeño , puede resistir cambios drásticos de temperatura , el vidrio de cuarzo calentado a aproximadamente 1200 ℃ no explota al sumergirse en agua a temperatura ambiente.
3.3 Resistencia a la corrosión:
Excepto el ácido fluorhídrico , el vidrio de cuarzo casi no reacciona químicamente con otros ácidos, y su resistencia a los ácidos es 30 veces mayor que la de la cerámica y 150 veces mayor que la del acero inoxidable.
3.4 Aislamiento eléctrico excelente:
El valor de resistencia del vidrio de cuarzo equivale a 10 000 veces el del vidrio común , lo que lo convierte en un material aislante eléctrico muy eficaz y con un buen rendimiento aislante a temperatura ambiente.
3.5 Buena transmitancia luminosa:
En todo el espectro de longitudes de onda desde ultravioleta hasta infrarrojo tienen buena transmisión de luz , tasa de transmisión de luz visible del 93 % o más en la región del espectro ultravioleta, la tasa de transmisión es del 80 % o más.
4. Aplicaciones comunes
Portador de obleas para procesos de alta temperatura: su función principal es sostener y transportar obleas de silicio en hornos y cámaras de reacción.
Esencial para el dopado y la difusión: Permite la introducción de impurezas en las obleas de silicio para crear transistores y circuitos.
Esencial para la oxidación térmica: Se utiliza para crecer capas aislantes de óxido en obleas.
Soporte en la deposición de películas delgadas (CVD): Sujeta las obleas durante los procesos de recubrimiento.
Base en la producción de celdas solares: Se utiliza para fabricar la unión p-n en celdas fotovoltaicas.
En esencia, dondequiera que se requiera un procesamiento ultra limpio y a alta temperatura de obleas de silicio u otros sustratos similares, la embarcación de cuarzo es una herramienta indispensable.
4.1 Fabricación de semiconductores (aplicación principal)
Oxidación térmica: Se utiliza para transportar obleas de silicio en hornos de alta temperatura con el fin de crecer una capa delgada y uniforme de dióxido de silicio (SiO₂) sobre la superficie de la oblea.
Difusión: Empleada en procesos de dopado donde las obleas se exponen a gases dopantes a altas temperaturas para modificar las propiedades eléctricas del silicio.
Depósito químico de vapor (CVD): Sirve como soporte para las obleas durante los procesos de deposición de películas delgadas de diversos materiales.
Recocido: Se utiliza en hornos para recocer obleas (calentar y enfriar lentamente) con el fin de reparar daños en el cristal o activar dopantes.
4.2 Industria fotovoltaica (PV)
Se utiliza en el proceso de difusión para crear la unión p-n, que es el corazón fundamental de una celda solar.
También se emplea en otros procesos a alta temperatura pasos para obleas solares de silicio.
4.3 Fabricación de LED y MEMS
Esencial para los pasos de procesamiento a alta temperatura involucrados en la fabricación de Diodos Emisores de Luz (LED) y Sistemas Micro-Electro-Mecánicos (MEMS).
Los tubos de ensayo de cuarzo son componentes de laboratorio e industriales de alto rendimiento indispensables, fabricados con sílice fundida de alta pureza, que normalmente presenta un contenido de sílice del 99,9 % o superior, con variantes premium pureza de SiO₂ del 99,99 % . El proceso de fabricación implica fundir cristales naturales de cuarzo a una temperatura ultralta de aproximadamente 2000 °C, seguido de técnicas de procesamiento de precisión, como estirado y conformado, para garantizar un espesor uniforme de las paredes y la integridad estructural. Estos tubos se distinguen claramente del vidrio común y de los alternativos de borosilicato gracias a su excepcional combinación de propiedades térmicas, químicas, ópticas y mecánicas, lo que los convierte en insustituibles en numerosos escenarios de alta exigencia.
Parámetros técnicos
| Contenido de propiedades | Unidad | Índice de propiedades |
| Densidad | g/cm³ | 1.9-2.0 |
| Resistencia a la tracción | Pa(N/m²) | 4,9×10⁷ |
| Resistencia a la compresión | Pa | >1.0×10⁸ |
| Coeficiente de Expansión Térmica | cm/cm·℃ | 5,4×10⁻⁷ |
| Conductividad térmica | W/m·℃ | Baja |
| Calor específico | J/kg·℃ | 650 |
| Punto de Ablandamiento | ℃ | 1600 |
| Punto de Revestimiento | ℃ | 1100 |
| Aluminio | Hierro | Potasio | El litio | Cobre | Sodio | El boro | Calcio | Magnesio |
| Metal | Fe | K | El | Cu | NA | B | Ca | Mg |
| 65 | 1.17 | 4.4 | 7.21 | 0.13 | 5 | 0.1 | 1.21 | 0.07 |
Historial de desarrollo
Patentes y Certificaciones
Paquete
Servicios
Preguntas frecuentes
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