9F, Gebou A Dongshengmingdu Plaza, nommer 21 Chaoyang Oosweg, Lianyungang Jiangsu, China +86-13951255589 [email protected]
Duidelike kwartsbootgrootte
Die grootte wat ons dikwels vervaardig, is 4-duim, 6-duim, 8-duim ensovoorts. En ons kan dit volgens die kliënte se vereistes ontwerp en aanpas.
Hardheid
Mohs-hardheid van ongeveer 7, soortgelyk aan dié van glas
SiO₂-suiwerheid
suiwerheid van silikon-dioksied, gewoonlik ≥99.99%vir halfgeleiergraad kruisels
Maksimum bedryfstemperatuur
Die hoogste temperatuur wat die kwartsboot kontinu kan weerstaan, is tot 1100℃
Die korttyd-werktemperatuur is 1200℃
Produkbesonderhede
1. Inleiding tot die Kwartsboot
’n Kwartsboot, ook spesifiek in die halfgeleierbedryf bekend as ’n skyfboot of prosesboot, is ’n hoëpresisiekomponent wat van hoë suiwerheid gesmelte kwarts gemaak word. Dit is ontwerp om silikonskyfies te dra en vervoer tydens verskeie hoëtemperatuurvervaardigingsprosesse.
Die primêre funksie daarvan is om as draer of rak te dien, deur middel waarvan verskeie wafers stewig en presies vertikaal gerangskik gehou word terwyl hulle binne oonde en reaksiekamers verwerk word.
2. Sleutelkenmerke
2.1 Uitstekende hoëtemperatuurweerstand:
Gesmelt kwarts kan temperature bo 1100°C weerstaan sonder om sag te word of te vervorm, wat noodsaaklik is vir prosesse soos diffusie en oksidasie.
2.2 Ultrahoë suiwerheid:
Dit is gemaak van hoë-suiwerheid sintetiese kwarts, wat byna vry is van metaalverontreiniging. Dit voorkom besmetting van die sensitiewe silikonwafels, wat noodsaaklik is om hoë produkopbrengs en prestasie te verseker.
2.3 Uitstekende termiese stabiliteit:
Kwarts het 'n baie lae koëffisiënt van termiese uitsetting, wat beteken dat dit vinnige verhitting- en verkoelingssiklusse (termiese skok) kan weerstaan sonder om te kraak.
2.4 Uitstekende chemiese onaktiwiteit:
Dit is hoogs bestand teen korrosie deur meeste sure, halogene en ander aggressiewe prosesgasse wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word.
2.5 Hoë meganiese sterkte en stabiliteit
Behou strukturele integriteit en dimensionele stabiliteit onder swaar las by hoë temperature, wat wafelvervorming voorkom.
Die kwartsboot is noodsaaklik vir halfgeleiervervaardiging weens sy uitstekende weerstand teen hoë temperature en ultrahoë suiwerheid, wat besmetting voorkom. Sy superieure weerstand teen termiese skokke en uitstekende chemiese inersiteit maak dit betroubaar in harde prosesomgewings. Verder verseker sy presisie-ingenieurswese dat skywe eenvormig en sonder skade verwerk word.
3. Voordele van die kwartsboot
3.1 Hoë-temperatuurweerstand:
Die versagingspunttemperatuur van kwartsglas is ongeveer 1730℃, wat dit moontlik maak om dit vir 'n lang tyd by 1200℃ te gebruik . Die korttydsgebruikstemperatuur kan 1450℃ bereik. . Die korttydsgebruikstemperatuur kan 1450℃ bereik.
3.2 Goed termiese stabiliteit:
Kwarstglas die koëffisiënt van termiese uitsetting is klein , kan weerstaan drastiese temperatuurveranderings , die kwarts glas wat tot ongeveer 1200 ℃ verhit word, sal nie bars wanneer dit in kamertemperatuurwater geplaas word nie.
3.3 Korrosiebestandheid:
Behalwe waterstoffluoriedsuur , reageer kwarts glas amper nie chemies met ander sure nie, en sy suurbestandheid is 30 keer dié van keramiek en 150 keer dié van roestvrystaal.
3.4 Sterk isolasie:
Die weerstandswaarde van kwarts glas is gelyk aan 10 000 keer dié van gewone glas , wat dit 'n uitstekende elektriese isolasiemateriaal maak en goeie isolasieprestasie by kamertemperatuur het.
3.5 Goed ligdeurlaatbaarheid:
In die hele spektrum van ultraviolet tot infrarooi golflengtes het goeie ligdoorgang , sigbare ligdoorgangs-tempo van 93% of meer in die ultraviolet-spektrum-streek, is die deurgangs-tempo 80 of meer.
4. Gewone toepassings
Skyf-draer vir hoë-temperatuurprosesse: Die primêre funksie is om silikon-skywe te hou en te vervoer in oonde en reaksiekamers.
Krities vir Doping en Diffusie: Maak dit moontlik om onsuiverhede in silikonwaafers in te voer om transistors en stroombane te skep.
Wesenlik vir Termiese Oksidasie: Gebruik om insuleeroksiedlae op skywe te groei.
Ondersteuning by Dunfilmafsetting (CVD): Hou skywe tydens bedekkingsprosesse.
Fundament in Selleproduksie: Gebruik om die p-n-aansluiting in fotovoltaïese selle te vervaardig.
In wese, waar daar ultra-skoon, hoë-temperatuurverwerking van silikonskywe of soortgelyke substrates benodig word, is die kwartsboot 'n onontbeerlike gereedskap.
4.1 Halfgeleier-vervaardiging (Kern-toepassing)
Termiese Oksidasie: Gebruik om silikonskywe in hoë-temperatuuroonde te dra om 'n dun, eenvormige laag silikon-dioksied (SiO₂) op die skyfoppervlak te groei.
Diffrusie: Aangewend in dopingsprosesse waar skywe aan dopante-gasse blootgestel word by hoë temperature om die elektriese eienskappe van silikon te verander.
Chemiese Dampafsetting (CVD): Diens as houer vir skywe tydens prosesse wat dun filmme van verskillende materiale afset.
Aanwyding: Word in oonde gebruik om skywe aan te wy (verhit en stadig af te koel) om kristalskade te herstel of dopante te aktiveer.
4.2 Fotovoltaïese (PV) industrie
Word gebruik tydens die diffusieproses om die p-n-aansluiting te vorm, wat die fundamentele kern van 'n sonselle is.
Word ook gebruik in ander hoë-temperatuur Verwerking stappe vir silikonsonneskywe.
4.3 LED- en MEMS-vervaardiging
Noodsaaklik vir die hoë-temperatuur-verwerkingsfases betrokke by die vervaardiging van Liguitstralende Diodes (LED's) en Mikro-elektromeganiese Stelsels (MEMS).
Kwarts-toetsbuise is onmisbare hoëprestasie-laboratorium- en nywerheidskomponente wat van hoogs suiwer gesmelte kwasiet gemaak word, wat gewoonlik 'n silikakonsentrasie van 99,9% of hoër het, met premium weergawes 99,99% SiO₂ suiwerheid bereik . Die vervaardigingsproses behels die smelt van natuurlike kwartskristalle by 'n baie hoë temperatuur van ongeveer 2000°C, gevolg deur presisievervaardigingstegnieke soos uitrek en vorm om 'n eenvormige wanddikte en strukturele integriteit te verseker. Hierdie buise verskil van gewone glas en borosilikaatalternatiewe as gevolg van hul uitstaande kombinasie van termiese, chemiese, optiese en meganiese eienskappe, wat hulle onvervangbaar maak in talle hoëvereistesituasies.
Tegniese parameters
| Eienskapinhoud | Eenheid | Eienskapsindeks |
| Digtheid | g/cm³ | 1.9-2.0 |
| Trekkrag | Pa(N/m²) | 4,9×10⁷ |
| Druksterkte | Pa | >1.0×10⁸ |
| Koëffisiënt van termiese uitbreiding | cm/cm·℃ | 5,4×10⁻⁷ |
| Ternerye Geleiding | W/m·℃ | Laag |
| Spesifieke warmte | J/kg·℃ | 650 |
| Wekpunt | ℃ | 1600 |
| Werkpunt | ℃ | 1100 |
| Aluminium | Yster | Kalium | Lithium | Koper | Natrium | Boor | Kalsium | Magnesium |
| Metaal | Fe | K | Li | Ku | Na | B | Ca | Mg |
| 65 | 1.17 | 4.4 | 7.21 | 0.13 | 5 | 0.1 | 1.21 | 0.07 |
Ontwikkelingsgeskiedenis

Patente en Sertifisering

Pakket

Dienste
VEE