Solkrag Pasgemaakte Deursigtige Gesmelt Silika Kwarts Glasboot

Inleiding tot die Kwartsboot

'n Kwartsboot, ook spesifiek bekend in die halfgeleierindustrie as 'n Waferboot of Prosesboot, is 'n hoë-presisie komponent vervaardig uit hoë-suiwerheid gesmelt kwarts. Dit is ontwerp om silikonwafers te ondersteun en te vervoer tydens verskeie hoë-temperatuur vervaardigingsprosesse.

Die primêre funksie daarvan is om as draer of rak te dien, deur middel waarvan verskeie wafers stewig en presies vertikaal gerangskik gehou word terwyl hulle binne oonde en reaksiekamers verwerk word.

Sleutel Kenmerke

1). Uitstekende Hoë-Temperatuurbestandigheid:
Gesmelt kwarts kan temperature bo 1100°C weerstaan sonder om sag te word of te vervorm, wat noodsaaklik is vir prosesse soos diffusie en oksidasie.

2). Ultrahoë Suiwerheid:
Dit is gemaak van hoë-suiwerheid sintetiese kwarts, wat byna vry is van metaalverontreiniging. Dit voorkom besmetting van die sensitiewe silikonwafels, wat noodsaaklik is om hoë produkopbrengs en prestasie te verseker.

3). Oorleggende Termiese Stabiliteit:
Kwarts het 'n baie lae koëffisiënt van termiese uitsetting, wat beteken dat dit vinnige verhitting- en verkoelingssiklusse (termiese skok) kan weerstaan sonder om te kraak.

4). Uitstekende Chemiese Inersheid:
Dit is hoogs bestand teen korrosie deur meeste sure, halogene en ander aggressiewe prosesgasse wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word.

5). Presisie-Ingenieurswese:
Die boot het noukeurig ontwerpte groewe of gleuwe wat wafels veilig hou sonder om stres of deeltjiesvorming te veroorsaak, en dit verseker eenvormige blootstelling aan prosesgasse en hitte.

6) Hoë Meganiese Sterkte & Stabiliteit
Behou strukturele integriteit en dimensionele stabiliteit onder swaar las by hoë temperature, wat wafelvervorming voorkom.
Die kwartsboot is noodsaaklik vir halfgeleiervervaardiging weens sy uitstekende weerstand teen hoë temperature en ultrahoë suiwerheid, wat besmetting voorkom. Sy superieure weerstand teen termiese skokke en uitstekende chemiese inersiteit maak dit betroubaar in harde prosesomgewings. Verder verseker sy presisie-ingenieurswese dat skywe eenvormig en sonder skade verwerk word.

Voordigte van die kwartsboot

1) Hoë Temperatuurweerstand:
Die versagtende punttemperatuur van kwartsglas is ongeveer 1730℃, en kan op 1200℃ oor 'n lang tydperk gebruik word. Die kortstondige gebruikstemperatuur kan tot 1450℃ styg.

2) Goed Termiese Stabiliteit: Die koëffisiënt van termiese uitsetting van kwartsglas is klein, dit kan drastiese temperatuurveranderinge hanteer; kwartsglas wat tot ongeveer 1200 ℃ verhit word, sal nie in koue water bars nie.

3) Korrosiebestandheid: Behalwe hidrofluorsuur, reageer kwartsglas byna nie chemies met enige ander suur nie, en sy suurbestandheid is 30 keer dié van keramiek en 150 keer dié van roestvrye staal.

4) Sterk Isolering: Die weerstandswaarde van kwartsglas is gelykstaande aan 10 000 keer dié van gewone glas, wat dit 'n uitstekende elektriese isolasiemateriaal maak met goeie isolasie-eienskappe by kamertemperatuur.

5) Goeie Ligdeurlaatbaarheid: In die hele spektrum van ultraviolet tot infrarooi golflengtes het dit goeie ligdeurlaatbaarheid, sigbare deurlaatbaarheidskoers van 93% of meer in die ultraviolet spektrale gebied, en 'n deurlaatbaarheidskoers van 80 of meer.

Algemene toepassings

Waferdraer vir Hoë-Temperatuurprosesse: Die primêre funksie is om silikonwaafers te hou en vervoer in oonde en reaksiekamers.
Krities vir Doping en Diffusie: Maak dit moontlik om onsuiverhede in silikonwaafers in te voer om transistors en stroombane te skep.
Wesenlik vir Termiese Oksidasie: Gebruik om insuleeroksiedlae op skywe te groei.
Ondersteuning by Dunfilmafsetting (CVD): Hou skywe tydens bedekkingsprosesse.
Fundament in Selleproduksie: Gebruik om die p-n-aansluiting in fotovoltaïese selle te vervaardig.

In wese, waar daar ultra-skoon, hoë-temperatuurverwerking van silikonskywe of soortgelyke substrates benodig word, is die kwartsboot 'n onontbeerlike gereedskap.
1). Halfgeleiervervaardiging (Kerntoepassing)
Termiese Oksidasie: Gebruik om silikonskywe in hoë-temperatuuroonde te dra om 'n dun, eenvormige laag silikon-dioksied (SiO₂) op die skyfoppervlak te groei.
Diffrusie: Aangewend in dopingsprosesse waar skywe aan dopante-gasse blootgestel word by hoë temperature om die elektriese eienskappe van silikon te verander.
Chemiese Dampafsetting (CVD): Diens as houer vir skywe tydens prosesse wat dun filmme van verskillende materiale afset.
Aanwyding: Word in oonde gebruik om skywe aan te wy (verhit en stadig af te koel) om kristalskade te herstel of dopante te aktiveer.

2). Fotovoltaïese (PV) Nywerheid
Word gebruik tydens die diffusieproses om die p-n-aansluiting te vorm, wat die fundamentele kern van 'n sonselle is.
Word ook gebruik in ander hoë-temperatuur-verwerkingsfases vir silikon sonneskywe.

3). Vervaardiging van LED's en MEMS
Noodsaaklik vir die hoë-temperatuur-verwerkingsfases betrokke by die vervaardiging van Liguitstralende Diodes (LED's) en Mikro-elektromeganiese Stelsels (MEMS).
Kwarts-toetsbuise is onontbeerlike hoë-prestasie laboratorium- en industriële komponente wat vervaardig word uit hoë-suiwerheid gesmelt silica, gewoonlik met 'n silikagehalte van 99,9% of hoër, met premium variëteite wat tot 99,99% SiO₂ suiwerheid kan bereik. Die vervaardigingsproses behels die smelt van natuurlike kwarts-kristalle by 'n ultrahoë temperatuur van ongeveer 2000°C, gevolg deur presisie-verwerkingsmetodes soos uitrekking en vorming om 'n eenvormige wanddikte en strukturele integriteit te verseker. Hierdie buise onderskei hulle van gewone glas en borosilikaat-alternatiewe weens hul uitstekende kombinasie van termiese, chemiese, optiese en meganiese eienskappe, wat hulle onvervangbaar maak in verskeie hoë-aanvraag toepassings.

  
Tegniese parameters