Loď z priehľadného taveného kremeňového skla pre solárnu energiu na objednávku

Podrobnosti o produkte

1. Úvod k kvartovému člnu

Kvartový čln, ktorý sa v polovodičovom priemysle označuje aj špecificky ako čln na kremíkové dosky alebo technologický čln, je komponent vysokého presného vybavenia vyrobený z vysokočistej fúzovanej kvarty. Je navrhnutý na uchovávanie a prepravu kremíkových dosiek počas rôznych výrobných procesov pri vysokých teplotách.

Jej hlavnou funkciou je slúžiť ako nosič alebo rámpa, ktorá zabezpečuje pevné držanie viacerých waferov vo vertikálnej polohe s presným odstupom počas spracovania vo vnútri pecí a reakčných komôr.

2. Kľúčové vlastnosti

2.1 Vynikajúca odolnosť voči vysokým teplotám:
Fúzovaný kremeň vydrží teploty vyššie ako 1100 °C bez mäknutia alebo deformácie, čo je nevyhnutné pre procesy ako difúzia a oxidácia.

2.2 Ultra vysoká čistota:
Je vyrobený z vysokočistého syntetického kremeňa, ktorý je takmer voľný od kovových nečistôt. To zabraňuje kontaminácii citlivých kremíkových platní, čo je kritické pre dosiahnutie vysokého výrobného výnosu a výkonu.

2.3 Vynikajúca tepelná stabilita:
Kremeň má veľmi nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, čo znamená, že vydrží rýchle cykly ohrevu a chladenia (tepelný šok) bez praskania.

2.4 Vynikajúca chemická neutrálne vlastnosti:
Je vysoko odolný voči korózii spôsobenej väčšinou kyselín, halogénov a iných agresívnych procesných plynov používaných pri výrobe polovodičov.

2.5 Vysoká mechanická pevnosť a stabilita
Udržiava štrukturálnu celistvosť a rozmernú stabilitu pri ťažkej záťaži za vysokých teplôt, čím zabraňuje deformácii platní.
Kremenná lihnica je nevyhnutná pre výrobu polovodičov vďaka svojej vynikajúcej odolnosti voči vysokým teplotám a extrémne vysokému stupňu čistoty, ktorý zabraňuje kontaminácii. Jej vynikajúca odolnosť voči tepelnému šoku a vynikajúca chemická inertnosť umožňujú spoľahlivý prevádzkový výkon v náročných procesných prostrediach. Navyše vďaka presnému inžinierstvu zaisťuje rovnomerné a bezpečné spracovanie waferov.

3.Výhody kryštálovej lode

3.1 Odolnosť voči vysokým teplotám:
Teplota bodu zmäkčenia kryštálového skla je približne 1730°C, čo môže byť dlhodobo používané pri teplote 1200°C - Čo? Krátkodobá teplota použitia môže dosiahnuť 1450°C.

3.2 Dobrá tepelná stabilita:

Kvarcové sklo koeficient tepelnej expanzie je malý , môže vydržať prudké zmeny teploty , kvartové sklo zahriate na približne 1200 ℃, keď sa ponorí do vody izbovej teploty, sa neroztrhne.

3.3 Odolnosť voči korózii:

Okrem kyseliny fluorovodíkovej , kvartové sklo takmer nereaguje chemicky s inými kyselinami a jeho odolnosť voči kyselinám je 30-krát vyššia ako u keramiky a 150-krát vyššia ako u nehrdzavejúcej ocele.

3.4 Vynikajúca izolácia:

Odpor kvartového skla je ekvivalentný 10 000-násobku odporu bežného skla , čo z neho robí veľmi dobrý elektrický izolačný materiál s vynikajúcimi izolačnými vlastnosťami pri izbovej teplote.

3.5 Dobrá priepustnosť pre svetlo:

V celom spektre vlnových dĺžok od ultrafialovej po infračervenú majú dobrú priepustnosť svetla , priepustnosť viditeľného svetla 93 % alebo viac v ultrafialovej oblasti spektra, priepustnosť 80 alebo viac.

4. Bežné aplikácie

Nosný kontajner pre kremíkové platničky pri vysokoteplotných procesoch: Hlavnou funkciou je upevnenie a preprava kremíkových platničiek v peciach a reakčných komorách.
Kľúčové pre legovanie a difúziu: Umožňuje zavádzanie prímesí do kremíkových platní za účelom vytvorenia tranzistorov a obvodov.
Nevyhnutný pre tepelnú oxidáciu: Používa sa na vytváranie izolačných oxidačných vrstiev na platniach.
Podpora pri depozícii tenkých vrstiev (CVD): Udržiava platne počas procesov povlakovanania.
Základ výroby solárnych článkov: Používa sa na výrobu p-n prechodov vo fotovoltaických článkoch.

V podstate, všade, kde je potrebné ultračisté spracovanie kremíkových plátň alebo podobných substrátov pri vysokých teplotách, kvarcová loďka je nenahraditeľným nástrojom.

4.1 Výroba polovodičov (základná aplikácia)

Tepelná oxidácia: Používa sa na prenášanie kremíkových plátň vo vysokej teplote v peciach na vytvorenie tenkej, rovnomernej vrstvy oxidu kremičitého (SiO₂) na povrchu platne.
Difúzia: Používa sa pri legovaní, keď sú platne vystavené plynom s prísadami pri vysokých teplotách, aby sa zmenili elektrické vlastnosti kremíka.
Chemická depozícia z plynného stavu (CVD): Slúži ako držiak pre platne počas procesov nanášania tenkých vrstiev rôznych materiálov.
Žíhanie: Používa sa v peciach na žíhanie waferov (zahriatie a pomalé ochladenie) na opravu poškodenia kryštálov alebo aktiváciu prísadiek.

4.2 Fotovoltaický (FV) priemysel

Používa sa pri procese difúzie na vytvorenie p-n prechodu, ktorý je základným jadrom solárnej bunky.
Používajú sa tiež v iných vysokoteplotných procesoch kroky výroby kremíkových slnečných dosiek.

4.3 Výroba LED a MEMS

Nevyhnutné pre kroky spracovania pri vysokých teplotách, ktoré sú súčasťou výroby svetlodesivých diód (LED) a mikroelektromechanických systémov (MEMS).
Kvartcové skúšobné trubičky sú nevyhnutnými komponentmi s vysokým výkonom pre laboratórne a priemyselné použitie, vyrobené z vysokočistej fúzovanej kremenného skla, zvyčajne s obsahom kremičitanu 99,9 % alebo vyšším, s prémiovými variantmi dosahujú čistotu SiO₂ až 99,99 % . Výrobný proces zahŕňa topenie prírodných kvartových kryštálov pri extrémne vysokej teplote približne 2000 °C, nasledované presnými spracovateľskými technikami, ako je ťahanie a tvarovanie, aby sa zabezpečila rovnaká hrúbka steny a štrukturálna pevnosť. Tieto valčeky sa vyznačujú oproti bežnému sklu a borosilikátovým alternatívam výnimočnou kombináciou tepelných, chemických, optických a mechanických vlastností, čo ich robí nezameniteľnými v mnohých náročných aplikáciách.

  
Technické parametre

História vývoja

Patenty a certifikácie

Balíček

Služby                                                                         

Často kladené otázky