9F, A épület, Dongshengmingdu Plaza, 21 Chaoyang East Road, Lianyungang, Jiangsu, Kína +86-13951255589 [email protected]
Tiszta kvarzcsónak mérete
A leggyakrabban gyártott méret 4 hüvelyk, 6 hüvelyk, 8 hüvelyk stb. Továbbá tervezhetjük és testreszabhatjuk az ügyfelek igényei szerint.
Keménység
Körülbelül Mohs-keménység 7, hasonlóan az üvegéhez
SiO₂-tisztaság
A szilícium-dioxid tisztasága általában ≥99.99%félvezető-minőségű krisztályosító edényekhez
Maximális üzemelési hőmérséklet
A kvarzcsónak folyamatosan elviselhető legmagasabb hőmérséklete, legfeljebb 1100℃
A rövid idejű üzemelési hőmérséklet 1200℃
Termékadatok
1. Bevezetés a kvarccsónak
A kvarccsó, amelyet a félvezetőiparban konkrétan szilíciumlemez-csónaknak vagy folyamatcsónak is neveznek, egy nagy pontosságú alkatrész, amelyet nagyon tiszta, olvasztott kvarcból készítenek. Feladata az, hogy szilíciumlemezeket tartson és szállítson különböző magas hőmérsékleten zajló gyártási folyamatok során.
Fő funkciója hordozó vagy tartóként szolgálni, biztosítva, hogy több lemez is pontosan egymástól távol, függőleges helyzetben rögzítve legyen, miközben kemencékben és reakciós kamrákban dolgozzák fel őket.
2. Fő jellemzők
2.1 Kiváló hőállóság:
A fúzott kvart akár 1100 °C feletti hőmérsékletet is elvisel anélkül, hogy megpuhulna vagy deformálódna, ami elengedhetetlen például a diffúziós és oxidációs folyamatokhoz.
2.2 Szupermagas tisztaság:
Nagyon tiszta szintetikus kvartzból készül, amely gyakorlatilag mentes fém szennyeződésektől. Ez megakadályozza a érzékeny szilícium lemezek szennyeződését, ami elengedhetetlen a magas termelési hozam és teljesítmény eléréséhez.
2.3 Kiváló hőállóság:
A kvartz rendkívül alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkezik, ami azt jelenti, hogy ellenáll a gyors felmelegedésnek és lehűlésnek (termikus sokknak) repedés nélkül.
2.4 Kiváló kémiai inaktivitás:
Nagymértékben ellenáll a legtöbb sav, halogén, valamint más agresszív folyamatgáz korróziójának, amelyeket a félvezetőgyártásban használnak.
2.5 Magas mechanikai szilárdság és stabilitás
Megőrzi szerkezeti integritását és méretstabilitását nagy terhelés mellett magas hőmérsékleten is, megakadályozva a lemezek torzulását.
A kvantcsónak elengedhetetlen a félvezetőgyártásban, mivel kiváló hőállóságával és extrém magas tisztaságával megakadályozza a szennyeződést. Kiemelkedő hőütés-állósága és kitűnő kémiai inaktivitása megbízható működést tesz lehetővé kemény körülmények között. Emellett precíziós tervezése biztosítja, hogy a lemezek egyenletesen és sérülésmentesen kerüljenek feldolgozásra.
3. A kvartzhajó előnyei
3.1 Magas hőmérséklet-állóság:
A kvartzüveg lágyulási hőmérséklete körülbelül 1730 ℃, ami hosszú ideig 1200 ℃-on használható . Rövid ideig akár 1450 ℃-ig is elérhető a használati hőmérséklet.
3.2 Jó hőmérséklet-stabilitás:
Kvarcsüveg a hőtágulási együtthatója kicsi , tud elviseli a hirtelen hőmérsékletváltozásokat , a kvarcüveget kb. 1200 ℃-ra melegítve, majd szobahőmérsékletű vízbe helyezve sem robban fel.
3.3 Korrózióállóság:
Kivéve a hidrogén-fluoridosavat , a kvarcüveg gyakorlatilag nem reagál kémiai úton más savakkal szemben, és savállósága 30-szor nagyobb, mint a kerámiaé, illetve 150-szer nagyobb, mint az rozsdamentes acélé.
3.4 Erős szigetelés:
A kvarcüveg ellenállásértéke megfelel az egyszerű üveg ellenállásértékének 10 000-szeresének , így kiváló elektromos szigetelőanyag, és szobahőmérsékleten is kiváló szigetelő tulajdonságokkal rendelkezik.
3.5 Jó fényáteresztés:
Az ultraibolya és infravörös hullámhosszak teljes spektrumában jó fényáteresztő képességgel rendelkezik , látható fény áteresztési aránya 93% vagy több az ultraibolya tartományban, az áteresztési arány 80 vagy több.
4. Gyakori alkalmazások
Szilíciumlemezek szállítóedénye magas hőmérsékleten zajló folyamatokhoz: A fő funkciója a szilíciumlemezek rögzítése és szállítása kemencékben és reakciós kamrákban.
Dopping és diffúzió szempontjából kritikus: Lehetővé teszi szennyező anyagok bevezetését a szilíciumlapokba tranzisztorok és áramkörök kialakításához.
Alapvető fontosságú a termikus oxidációnál: szigetelő oxidos réteg növesztésére használják a lemezeken.
Támogatás vékonyréteg-lehetéseknél (CVD): tartja a lemezeket bevonási folyamatok során.
Alapja a napelemgyártásnak: a fotovoltaikus cellák p-n átmenetének előállításához használják.
Lényegében minden olyan alkalmazásnál, ahol ultratiszta, magas hőmérsékletű feldolgozásra van szükség szilíciumlemezek vagy hasonló hordozók esetén, a kvartshajó elengedhetetlen eszköz.
4.1 Félvezető-gyártás (alapalkalmazás)
Termikus oxidáció: szilíciumlemezek szállítására használják magas hőmérsékletű kemencékben, hogy vékony, egyenletes szilícium-dioxid (SiO₂) réteget növesszenek a lemez felületén.
Difúzió: adalékolási folyamatokban alkalmazzák, ahol a lemezek dopáló gázoknak vannak kitéve magas hőmérsékleten, hogy megváltoztassák a szilícium elektromos tulajdonságait.
Kémiai gőzleválasztás (CVD): hordozóként szolgál a lemezek számára olyan folyamatok során, amelyek során különféle anyagokból vékony rétegeket visznek fel.
Hőkezelés: Kemencékben használják lemezek hőkezelésére (felmelegítés és lassú hűtés) a kristályszerkezet károsodásának javítása vagy a dopánszerek aktiválása céljából.
4.2 Napenergia-ipar (PV-ipar)
A diffúziós folyamatban használják a p-n átmenet létrehozására, amely a napelem alapvető szíve.
Egyéb területeken is alkalmazzák magas hőmérsékleten történő feldolgozás szilícium napcellalemezek gyártási lépéseiben.
4,3-es LED- és MEMS-gyártás
Elengedhetetlen a fénykibocsátó diódák (LED-ek) és mikroelektromechanikai rendszerek (MEMS-ek) gyártásának magas hőmérsékletű feldolgozási lépéseiben.
A kvarcpróbacsövek elengedhetetlen, nagy teljesítményű laboratóriumi és ipari alkatrészek, amelyeket nagyon tiszta, olvadt kvarcból készítenek, amely általában 99,9%-nál nagyobb szilícium-dioxid-tartalommal rendelkezik, és prémium változatai akár 99,99% SiO₂ tisztasággal készítenek. Gyártási folyamatuk során természetes kvarc kristályokat olvasztanak meg körülbelül 2000 °C-os extrém magas hőmérsékleten, majd precíziós feldolgozási technikákat – például nyújtást és formázást – alkalmaznak, hogy egyenletes falvastagságot és szerkezeti integritást érjenek el. Ezek a csövek különleges hő-, kémiai, optikai és mechanikai tulajdonságaik miatt jelentősen eltérnek az egyszerű üveg- és boroszilikát-alternatíváktól, és ezért nélkülözhetetlenek számos magas igényű alkalmazásban.
Műszaki paraméterek
| Tulajdonság tartalma | Egység | Tulajdonság index |
| Sűrűség | g/cm³ | 1.9-2.0 |
| Húzószilárdság | Pa(N/m²) | 4,9×10⁷ |
| Nyomásérzetlenség | Pa | >1.0×10⁸ |
| Hőmérsékleti tágulási együttható | cm/cm·℃ | 5,4×10⁻⁷ |
| Hővezetékonyság | W/m·℃ | Alacsony |
| Fajlagos hő | J/kg·℃ | 650 |
| Puhulási pont | ℃ | 1600 |
| Edzési pont | ℃ | 1100 |
| Alumínium | Vas | Kálium | Lítium | Réz | Nátrium | Bór | Kalcium | Magnesium |
| Al | Fe | K | Li | Cu | NA | B | Ca | Mg |
| 65 | 1.17 | 4.4 | 7.21 | 0.13 | 5 | 0.1 | 1.21 | 0.07 |
Fejlesztési történet

Szabadalmak és tanúsítványok

Csomagolás

Szolgáltatások
GYIK