Fagyított kvarcüveg flange tömítéshez vagy alkatrészek csatlakoztatásához

Termék Részletei

1.Fagyott kvarzcsatlakozók gyártási folyamata

A gyártás fagyott kvarzcsatlakozók jelentősen fejlődött. Míg a hagyományos módszerek időigényes meleg és hideg feldolgozásra támaszkodtak, a modern gyártás főként a "kvarköntés" folyamatot használja a nagy pontosság és hatékonyság eléréséhez. A folyamat a következő kulcsfontosságú lépésekre bontható le:

1.1 Formázás és alakítás : A folyamat a nagyon tiszta kvarzhomok , amelyet egy speciálisan kialakított formázó kemencébe helyeznek, felmelegítésével kezdődik. Ez a kemence belső izolációs hengert és több külső izolációs hengert tartalmaz, amelyek külön szigetelési zónákat hoznak létre. A kvarzhomokot addig melegítik, amíg megolvad, majd a kemence háza forgatásával biztosítják, hogy az olvadt kvarz egyenletesen tapadjon a henger belső falához. Miután elérjük a kívánt alakot, a fűtést leállítják, és az anyagot hagyni kell lehűlni és megdermedni, így keletkezik a nyers csatlakozó alakja. Ez a egylépéses formázási folyamat kulcselőny, mivel csökkenti a gyártási költségeket, alacsonyabb az energiafogyasztás, és hatékonyabb, mint a régebbi módszerek.

1.2 Pontos megmunkálás : A kezdeti öntést követően a perem gyakran további pontos megmunkálást igényel. Bizonyos alkalmazásokhoz, például tömítőfelületekhez a perem aláható CNC gépelés pontos megmunkálásnak legfeljebb 0,02 mm síkság eléréséhez . Ez a lépés döntő fontosságú a tökéletes illeszkedés és optimális teljesítmény biztosításához.

1.3 Fagyosított felület kezelése : A végső és meghatározó lépés a „fagyosított” felület létrehozása, amelyet általában pontos csiszolással vagy homokszórással érnek el. A tömítőfelületet egy meghatározott szemcseméretű csiszolókoronggal dolgozzák fel, hogy egyenletes mikrotextúrát hozzanak létre. Ez nem egyszerű durvítás, hanem egy szabályozott folyamat, amellyel meghatározott felületi érdességet ( Az Ra érték általában 0,8–1,6 μm között van szabályozva ) Ez a pontos felületkezelés biztosítja a perem jellegzetes matt megjelenését és kritikus tömítő funkcióját.

2.A mattított kvarzperemek előnyei

A mattított kvarzperemek számos kiváló tulajdonsággal rendelkeznek, amelyek a kiindulási anyagból és a speciális matt felületkezelésből egyaránt erednek:

2.1 Felsőbb minőségű anyagtulajdonságok : Nagyon tiszta, olvadt kvarz (SiO₂ > 99,9%) kiváló hőállóságot biztosít, folyamatos üzemelésre képes legfeljebb 1100°C hőmérsékleten, rövid ideig akár 1450°C -ig is, lágyulási pontja körülbelül 1730 °C . Emellett kiváló kémiai ellenállással is rendelkezik, ellenáll a legtöbb savnak (kivéve a hidrofluorsavat), és nagyon ellenálló a hőterhelési sokknak is, mivel rendkívül alacsony a hőtágulási együtthatója ( 5,5 × 10⁻⁷ /°C ezenkívül kiváló elektromos szigetelőanyag.

2.2 Fokozott zárószerv teljesítmény a „matte” felületi megoldás kulcselőny. A csiszolással létrehozott mikrotextúra növeli a súrlódási együtthatót és a tömítési felület érintkezési területét. Amikor tömítéssel (pl. PTFE vagy perfluoroéter alapú tömítéssel) együtt használják, stabilabb tömítést biztosít, megakadályozva a tömítés elcsúszását nyomásingerek vagy hőtágulás/összehúzódás hatására. Ez „mikrohorpadásos rögzítési” hatás legfeljebb 30%a csiszolt felülethez képest.

2.3 Magas tisztaság és tisztasági szint mint nem fémes anyag, a kvarc kizárja a fémion-szennyeződés veszélyét, ami kritikus fontosságú az érzékeny folyamatoknál a félvezetőipar . Az anyag magas tisztasága továbbá biztosítja, hogy ne juttasson szennyező anyagokat a folyamatáramba.

3.Kulcsfontosságú alkalmazási forgatókönyvek

Az egyedi tulajdonságkombináció miatt a matte kvarcflansok elengedhetetlenek a követelményes, fejlett technológiájú iparágakban:

3.1 Félvezetőgyártás : Széles körben használják őket maróberendezésekben és atomrételképződés (ALD) gázelvezetési csatlakozásokhoz, valamint kamra-illesztésekhez szükséges berendezésekben. Magas tisztaságuk, kémiai ellenállásuk és kiváló tömítőképességük megakadályozza a fém szennyeződést, és biztosítja a vákuumrendszerek integritását.

3.2 Fotovoltaikus és kijelzőgyártás : A PECVD-berendezések , ezek a flange-ok forrás gázvezeték-csatlakozásokként működnek, ellenállva a szilán és az ammónia mint korrozív gázok hatásának.

3.3 Optikai szál-előforma-gyártás : Tömítő csatlakozóként használják őket magas hőmérsékleten zajló folyamatokban, például hidrogén-klorid jelenlétében, ahol különösen fontos a korroziónállóságuk.

3.4 Laboratórium és kutatás : Ezeket egyedi, magas hőmérsékleten működő reaktorkamrák, vákuumrendszerek és speciális berendezések gyártására használják. Az anyag gépi megmunkálhatósága összetett, nem szabványos alakzatok készítésére is lehetővé teszi, így ideálisak egyedi laboratóriumi berendezésekhez, ahol szivárgásmentes tömítést biztosítanak testreszabott vákuumkamrákhoz (elérve a vákuumszintet 5 × 10⁻⁵ Pa ezenkívül kémiai folyamatokban is alkalmazzák őket, például reaktorokban, szétválasztásnál és desztillációs oszlopokban.

Specifikációk

Fejlődéstörténet

Szabadalmak és tanúsítványok

Csomagolás

Szolgáltatások                                                                         

GYIK