پلاک 21، خیابان چائویانگ شرقی، ساختمان A، پلازا دونگشنگمینگدو، لیانیونگانگ جیانگسو، چین +86-13951255589 [email protected]
خواص خلوص فلنج کوارتز مات:
محتوای SiO₂ تا ۹۹٫۹ درصد
محدوده دمای کاری:
دمای کاری طولانیمدت ۱۱۰۰ درجه سانتیگراد و دمای کاری کوتاهمدت ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد
اندازه و طراحی:
قابل سفارشیسازی بر اساس قطر، ضخامت و طول مختلف یا ارسال نقشه شما.
ویژگیهای کلیدی :
بیاثر از نظر شیمیایی، مقاوم به اسید و قلی
کاربرد :
عمدتاً در تولید نیمههادیها، اتصالات تجهیزات خلأ و فرآیندهای شیمیایی با دمای بالا استفاده میشود و بهعنوان اجزای آببندی یا اتصال مقاوم در برابر دمای بالا و خوردگی عمل میکند
جزئیات محصول
تولید فلنجهای کوارتز مات بهطور قابلتوجهی پیشرفت کرده است. اگرچه روشهای سنتی به فرآیندهای زمانبر گرم و سرد متکی بودند، اما تولید مدرن عمدتاً از فرآیند «ریختهگری کوارتز» برای دستیابی به دقت و بازده بالا استفاده میکند. این فرآیند را میتوان در مراحل کلیدی زیر خلاصه کرد:
۱٫۱ قالبگیری و شکلدهی : این فرآیند با شن کوارتز با خلوص بالا , که در یک کورهٔ شکلدهی ویژه قرار میگیرد، آغاز میشود. این کوره دارای یک استوانهٔ جداکنندهٔ داخلی و چندین استوانهٔ جداکنندهٔ خارجی است که مناطق عایقبندی جداگانهای ایجاد میکنند. شن کوارتز تا زمانی که ذوب شود گرم میشود و پوستهٔ کوره چرخانده میشود تا اطمینان حاصل شود که کوارتز مذاب بهطور یکنواخت بر روی دیوارهٔ داخلی استوانه نشسته است. پس از دستیابی به شکل مطلوب، گرمکردن متوقف شده و ماده اجازه داده میشود تا خنک شده و جامد شود و شکل اولیهٔ فلنج را تشکیل دهد. این فرآیند قالبگیری تکمرحلهای یک مزیت کلیدی است، زیرا هزینههای تولید را کاهش میدهد، مصرف انرژی را پایین میآورد و بازدهی را در مقایسه با روشهای قدیمیتر بهبود میبخشد.
۱٫۲ ماشینکاری دقیق : پس از ریختهگری اولیه، معمولاً نیاز به انجام عملیات دقیقتری بر روی فلنج وجود دارد. برای کاربردهای خاصی مانند سطوح آببندی، فلنج ممکن است تحت ماشینکاری CNC ماشینکاری دقیق قرار گیرد صافی تا ۰٫۰۲ میلیمتر . این مرحله برای اطمینان از تناسب کامل و عملکرد بهینه بسیار حیاتی است.
1.3 پرداخت سطح یخزده : آخرین و تعیینکنندهترین مرحله، ایجاد سطح «یخزده» است که معمولاً از طریق سنگزنی دقیق یا شنپاشی بهدست میآید. سطح آببندی با چرخ سنگزنی با دانهبندی مشخصی صیقل داده میشود تا بافت ریز یکنواختی ایجاد شود. این فرآیند صرفاً خشنکردن ساده نیست، بلکه فرآیندی کنترلشده برای ایجاد زبری سطحی مشخص ( مقدار Ra معمولاً بین ۰٫۸ تا ۱٫۶ میکرومتر کنترل میشود ) این پرداخت دقیق، عامل ایجاد ظاهر مات مشخصهٔ حلقه و عملکرد اساسی آن در ایجاد درزبندی است.

حلقههای کوارتز ماتشده دارای مجموعهای از ویژگیهای برتر هستند که از هر دو جنس اولیه و همچنین پرداخت خاص ماتشدهٔ آنها ناشی میشوند:
2.1 ویژگیهای مواد برجسته : کوارتز ذوبشده با درجه خلوص بالا (SiO₂ > ۹۹٫۹٪) مقاومت حرارتی استثنایی فراهم میکند و امکان کارکرد پیوسته تا دماهای 1100°C و قرار گرفتن کوتاهمدت در معرض دماهای تا 1450°C , همراه با نقطه نرمشدنی حدود °C ۱۷۳۰ را فراهم میسازد. این ماده همچنین مقاومت شیمیایی عالی دارد و در برابر اکثر اسیدها (به جز اسید هیدروفلوریک) مقاوم است و به دلیل ضریب بسیار پایین انبساط حرارتی، در برابر صدمههای ناشی از تغییرات ناگهانی دما نیز بسیار مقاوم است ( ۵٫۵ × ۱۰⁻⁷ بر درجه سانتیگراد علاوه بر این، عایق الکتریکی برجستهای است.
2.2 بهبود عملکرد پوشش پرداخت «شیشهای مات» یک مزیت کلیدی است. بافت ریز ایجادشده توسط سوهانزنی، ضریب اصطکاک و مساحت تماس سطح آببندی را افزایش میدهد. هنگام استفاده با واشر (مانند پلیتترافلوئورواتیلن یا پرفلورواثر)، آببندی پایدارتری فراهم میکند و از لغزش واشر در اثر نوسانات فشار یا انبساط و انقباض حرارتی جلوگیری میکند. این اثر «قفلشدن شیارهای ریز» میتواند مقاومت در برابر فشار را تا 30%در مقایسه با سطح صیقلی بهبود بخشد.
2.3 درجه بالای خلوص و پاکی : بهعنوان یک ماده غیرفلزی، کوارتز خطر آلودگی ناشی از یونهای فلزی را از بین میبرد که برای فرآیندهای حساس در صنعت میکروالکترونیک بسیار حیاتی است. خلوص بالای این ماده همچنین اطمینان میدهد که هیچ آلایندهای را به جریان فرآیند وارد نمیکند.
ترکیب منحصربهفرد این ویژگیها، فلنجهای کوارتز مات را در صنایع پیشرفته و پرتلاش ضروری میسازد:
3.1 تولید میکروچیپها آنها بهطور گسترده در دستگاههای اچینگ و ترکیب لایهای اتمی (ALD) برای اتصال مسیرهای گازی و رابطهای دورهای استفاده میشوند. خلوص بالا، مقاومت شیمیایی و درزبندی عالی آنها از آلودگی فلزی جلوگیری کرده و یکپارچگی سیستمهای خلأ را تضمین میکند.
3.2 تولید فتوولتائیک و نمایشگرها : در تجهیزات PECVD در این تجهیزات، این فلنگها بهعنوان رابطهای خطوط انتقال گاز منبع عمل میکنند و در برابر گازهای خورندهای مانند سیلان و آمونیاک مقاومت دارند.
3.3 ساخت پیشفرم فیبر نوری در این حوزه، آنها بهعنوان اتصالدهندههای درزبندی در فرآیندهای دمای بالا، مانند فرآیندهایی که شامل کلرید هیدروژن هستند، استفاده میشوند؛ که در آن مقاومت در برابر خوردگی اهمیت حیاتی دارد.
3.4 آزمایشگاه و تحقیق ساخت ظروف واکنشی سفارشی با دمای بالا، سیستمهای خلأ و تجهیزات تخصصی: این قطعات برای ساخت تنظیمات آزمایشگاهی سفارشی مناسب هستند، زیرا قابلیت ماشینکاری در اشکال پیچیده و غیراستاندارد را دارند و میتوانند درزهای محکمی برای محفظههای خلأ سفارشی فراهم کنند (که سطح خلأ تا ۵ × ۱۰⁻⁵ پاسکال آنها همچنین در فرآیندهای شیمیایی مانند راکتورها، جداسازی و ستونهای تقطیر استفاده میشوند.
مشخصات
| محتوای ملک | شاخص املاک |
| تراکم | 2.2×103kg/cm³ |
| قدرت | 580KHN100 |
| استحکام کششی | 4.9×107Pa(N/㎡) |
| مقاومت فشرده شدن | >1.1×109Pa |
| ضریب انبساط حرارتی | 5.5×10-7cm/cm℃ |
| هدایت حرارتی | 1.4 وات/متر·سانتیگراد |
| گرمای ویژه | 670 ژول/کیلوگرم·سانتیگراد |
| نقطه نرم شدن | 1680℃ |
| نقطه ترموشکافی | 1215℃ |
تاریخچه توسعه

ثبت اختراعات و گواهینامهها

بستهبندی

خدمات
سوالات متداول