แผ่นยึดแก้วควอทซ์ฝ้าสำหรับปิดผนึกหรือเชื่อมต่อชิ้นส่วน

รายละเอียดสินค้า

1.กระบวนการผลิตแหวนข้อต่อควอตซ์แบบด้านขุ่น

การผลิตของ แหวนข้อต่อควอตซ์แบบด้านขุ่น มีการพัฒนาอย่างมาก แม้ว่าวิธีการแบบดั้งเดิมจะอาศัยกระบวนการให้ความร้อนและเย็นที่ใช้เวลานาน แต่กระบวนการผลิตสมัยใหม่ส่วนใหญ่ใช้ กระบวนการ "หล่อควอตซ์" เพื่อให้ได้ความแม่นยำสูงและประสิทธิภาพในการผลิตที่ดี กระบวนการนี้สามารถแบ่งออกเป็นขั้นตอนสำคัญต่อไปนี้:

1.1 การขึ้นรูปและการหล่อ : กระบวนการเริ่มต้นด้วย ทรายควอตซ์บริสุทธิ์สูง , ซึ่งถูกใส่เข้าไปในเตาขึ้นรูปที่ออกแบบมาเป็นพิเศษ เตาดังกล่าวมีกระบอกทรงกระบอกกันความร้อนด้านในและกระบอกทรงกระบอกกันความร้อนหลายชั้นด้านนอก ซึ่งสร้างโซนฉนวนแยกจากกัน ทรายควอตซ์จะถูกให้ความร้อนจนละลาย จากนั้นเปลือกของเตาจะหมุนเพื่อให้ควอตซ์ที่หลอมเหลวเคลือบผนังด้านในของกระบอกทรงกระบอกอย่างสม่ำเสมอ เมื่อได้รูปร่างตามที่ต้องการแล้ว จะหยุดให้ความร้อน และปล่อยให้วัสดุเย็นตัวลงและแข็งตัวเป็นแหวนข้อต่อเบื้องต้น กระบวนการขึ้นรูปแบบขั้นตอนเดียว นี้ เป็นข้อได้เปรียบสำคัญ เนื่องจากช่วยลดต้นทุนการผลิต ลดการใช้พลังงาน และเพิ่มประสิทธิภาพเมื่อเทียบกับวิธีการแบบดั้งเดิม

1.2 การกลึงความแม่นยำสูง : หลังจากการหล่อเบื้องต้นแล้ว มักจำเป็นต้องดำเนินการขึ้นรูปอย่างแม่นยำเพิ่มเติมกับหน้าแปลน สำหรับการใช้งานเฉพาะ เช่น พื้นผิวสำหรับการซีล หน้าแปลนอาจผ่านกระบวนการ การเจียร CNC เพื่อให้ได้ค่าความคลาดเคลื่อนที่แคบมาก รวมถึง ความเรียบของพื้นผิวสูงสุดถึง 0.02 มม. ขั้นตอนนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการประกันการเข้ากันได้อย่างสมบูรณ์แบบและประสิทธิภาพในการทำงานที่ดีที่สุด

1.3 การบำบัดพื้นผิวด้วยเทคนิคฟรอสติ้ง : ขั้นตอนสุดท้ายและเป็นลักษณะเด่นคือ การสร้างพื้นผิวแบบ "ฟรอสติ้ง" ซึ่งโดยทั่วไปจะทำได้ด้วย การเจียรแบบความแม่นยำสูง หรือการพ่นทราย พื้นผิวสำหรับการซีลจะถูกเจียรด้วยล้อเจียรที่มีขนาดเกรนเฉพาะ เพื่อสร้างพื้นผิวจุลภาคที่สม่ำเสมอ ซึ่งไม่ใช่เพียงการขรุขระพื้นผิวอย่างง่าย ๆ แต่เป็นกระบวนการที่ควบคุมอย่างแม่นยำเพื่อให้ได้ค่าความหยาบของพื้นผิวที่กำหนดไว้ ( ค่า Ra โดยทั่วไปควบคุมอยู่ในช่วง 0.8–1.6 ไมครอน ) การขัดผิวอย่างแม่นยำนี้เองที่ทำให้ขอบต่อ (flange) มีลักษณะผิวด้านแบบเฉพาะตัว และมีหน้าที่สำคัญในการปิดผนึก

2.ข้อดีของขอบต่อควอตซ์ผิวด้าน

ขอบต่อควอตซ์ผิวด้านมีคุณสมบัติที่เหนือกว่าหลายประการ ซึ่งเกิดจากทั้งวัสดุพื้นฐานและผิวด้านเฉพาะที่ได้รับการขัดแต่ง

2.1 สมบัติของวัสดุที่ยอดเยี่ยม : ควอตซ์หลอมรวมความบริสุทธิ์สูง (SiO₂ > 99.9%) มีความต้านทานต่อความร้อนได้ดีเยี่ยม สามารถใช้งานต่อเนื่องได้ที่อุณหภูมิสูงสุดถึง 1100°C และสามารถสัมผัสกับอุณหภูมิสูงเป็นระยะเวลาสั้น ๆ ได้สูงสุดถึง 1450°C , โดยจุดเริ่มต้นของการอ่อนตัวอยู่ที่ประมาณ 1730°C นอกจากนี้ยังมีความต้านทานต่อสารเคมีได้ดีเยี่ยม ทนต่อกรดเกือบทุกชนิด (ยกเว้นกรดไฮโดรฟลูออริก) และมีความต้านทานต่อการแตกหักจากความร้อนได้สูงมาก เนื่องจากสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำมาก ( 5.5 x 10⁻⁷ ต่อองศาเซลเซียส นอกจากนี้ยังเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม

2.2 ประสิทธิภาพการปิดผนึกที่ดียิ่งขึ้น : ผิวสัมผัสแบบ "ขุ่น" เป็นข้อได้เปรียบสำคัญ โครงสร้างพื้นผิวจุลภาคที่เกิดจากการขัดช่วยเพิ่มสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานและพื้นที่สัมผัสของผิวปิดผนึก เมื่อใช้ร่วมกับซีล (เช่น พอลิเตตระฟลูออโรเอธิลีน หรือเพอร์ฟลูโอโรเอเทอร์) จะให้การปิดผนึกที่มีเสถียรภาพมากยิ่งขึ้น ป้องกันไม่ให้ซีลเลื่อนไถลเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงความดันหรือการขยายตัวและหดตัวจากความร้อน ซึ่ง ผลการล็อกด้วยร่องจุลภาค สามารถเพิ่มความสามารถในการทนความดันได้สูงสุดถึง 30%เมื่อเปรียบเทียบกับพื้นผิวที่ขัดมัน

2.3 ความบริสุทธิ์สูงและความสะอาด : เนื่องเป็นวัสดุที่ไม่ใช่โลหะ ควอตซ์จึงขจัดความเสี่ยงของการปนเปื้อนไอออนโลหะ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อกระบวนการที่ไวต่อสิ่งปนเปื้อนใน อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ วัสดุนี้มีความบริสุทธิ์สูงจึงไม่ก่อให้เกิดการปนเปื้อนในกระแสกระบวนการด้วย

3.สถานการณ์การใช้งานหลัก

การรวมคุณสมบัติที่โดดเด่นเหล่านี้เข้าด้วยกัน ทำให้หน้าแปลนควอตซ์แบบขุ่นเป็นสิ่งจำเป็นอย่างยิ่งในอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูงที่มีความต้องการสูง:

3.1 การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ใช้กันอย่างแพร่หลายในเครื่องกัดกร่อน (etching machines) และ การสะสมชั้นบางแบบอะตอม (ALD) อุปกรณ์สำหรับการเชื่อมต่อเส้นทางการไหลของก๊าซและส่วนต่อระหว่างห้องประมวลผล ความบริสุทธิ์สูง ความต้านทานต่อสารเคมีที่ดีเยี่ยม และความสามารถในการปิดผนึกที่เหนือกว่า ช่วยป้องกันการปนเปื้อนของโลหะและรักษาความสมบูรณ์ของระบบสุญญากาศ

3.2 การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์และจอแสดงผล : ใน อุปกรณ์ PECVD , ข้อต่อเหล่านี้ทำหน้าที่เป็นส่วนต่อเชื่อมท่อจ่ายก๊าซต้นทาง โดยสามารถทนต่อแก๊สกัดกร่อน เช่น ไซแลน (silane) และแอมโมเนีย (ammonia)

3.3 การผลิตพรีฟอร์มใยแก้วนำแสง : ใช้เป็นตัวเชื่อมต่อแบบปิดผนึกในกระบวนการที่ใช้อุณหภูมิสูง เช่น กระบวนการที่เกี่ยวข้องกับไฮโดรเจนคลอไรด์ (hydrogen chloride) ซึ่งคุณสมบัติต้านทานการกัดกร่อนของวัสดุนั้นมีความสำคัญยิ่ง

3.4 ห้องทดลองและการวิจัย : ใช้ในการสร้างภาชนะปฏิกิริยาที่ทนความร้อนสูง ระบบสุญญากาศ และอุปกรณ์พิเศษต่าง ๆ ความสามารถในการกลึงให้เป็นรูปร่างที่ซับซ้อนและไม่มาตรฐาน ทำให้วัสดุชนิดนี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการจัดตั้งห้องปฏิบัติการแบบเฉพาะตามความต้องการ โดยสามารถให้การปิดผนึกที่ไม่รั่วซึมสำหรับห้องสุญญากาศที่ออกแบบมาเป็นพิเศษ (สามารถสร้างสภาวะสุญญากาศได้ต่ำสุดถึง 5 x 10⁻⁵ พาสคาล พวกเขายังถูกใช้ในกระบวนการทางเคมี เช่น ปฏิกรณ์ การแยกสาร และคอลัมน์การกลั่น

ข้อกำหนด

ประวัติความเป็นมาในการพัฒนา

สิทธิบัตรและการรับรอง

บรรจุภัณฑ์

บริการ                                                                         

คำถามที่พบบ่อย