9F, Барилга.А Донгшенгминь Дуудлага Талбай, 21 Чоёнг Янгийн Зүгийн Гудамж, Ляньюньган Жянгсу, Хятад +86-13951255589 [email protected]
Хүйтнэрүүлсэн кварц фланец. Материалын цэвэршилт:
SiO₂ агуулалт 99,9 хүртэл процент
Ажиллах температур хүрээ:
Урт хугацааны ажиллах температур 1100 градус бүтэн хүйтнэрүүлсэн температур 1200 градус
Хэмжээ ба дизайн:
Диаметр, зүүн талын зузаан, урт эсвэл таны зураг дагуу хийгдсэн үйлдвэрлэлд зөвшөөрөл өгнө.
Үндсэн үзүүлэлтүүд :
Химийн хувьд инерт, нүүрсний цайвар
Хэрэглээ :
үндэсній сегментийн үйлдвэрлэлд, вакуум төхөөрөмжүүдийн холболтод, өндөр температурт химийн процесст үүрэг гүйцэтгэдэг; өндөр температурт ба коррозид төдийлөн төвөгтүшгүй герметик буюу холбогч деталь.
Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй
Үйлдвэрлэлийн түүрхүүлсэн кварц фланецүүд хүчтэй хөгжсөн. Хуучин арга барилд удаан хугацаа шаардагч халуун ба хүйтэн боловсруулалт ашиглагдаж байгаа бол, орчин үеийн үйлдвэрлэлд их түвшний нарийн хэмжээ ба үр дүнтэй бүтээлд нь хүрэх зорилгоор дүүрэн "кварц хаялт" процессыг үндсэн арга барил гэж ашиглаж байгаа. Энэ процессыг дараах үндсэн алхамуудад хувааж болно:
1.1 Загасын хийгдүүлэлт ба хэлбэрлэлт : Процесс өндөр цэвэртэй кварц элс , ялангуяа загасын хийгдүүлэлт хийх зориулалттай топлооны доторх тусгаарлах цилиндр ба олон тооны гадна тусгаарлах цилиндрийн тусламжтайгаар тусгаарласан дулаан тусгаарлалтын бүсүүд үүсгэдэг топлоонд кварц элсийг хийж, түүнийг хайлах хүртэл халааж байгаа. Хайлах үед топлооны гадаа талын хүрээг эргүүлж, хайлах кварц материал цилиндрийн дотоод хананд төвдөө тааруулан түүрхүүлдэг. Хүсэдэг хэлбэр хүртэл халааж дуусгаад, халааж буй процессыг зогсоож, материалыг хөхрүүлж, анхны фланецүүдийн хүрд хэлбэрт хөхрүүлдэг. Энэ нэг алхамд хийгдүүлэлт үйлдвэрлэлийн зардлыг бүүрнүүрхүүлж, энергийн хэрэглээг бууруулж, хуучин арга замуудтай харьцуулж үр дүнтэй бөөртүүлж, түүн дотор гол давуу тал юм.
1.2 Наад захын нарийн бүтээл : Анхны хаялтын дараа хавтгай нь ихэвчлэн наад захын нарийн бүтээл шаардулдаг. Тодорхой хэрэглээс, жишээ нь герметик гадаргуу, хавтгай нь CNC Машинчлал наад захын нарийн бүтээлд хавтгай бүтэц доошоо 0,02 мм . Энэ алхам нь бүртэн таарахыг хангах, хамгийн үр дүнтэй ажиллахыг хабзуйлж чухал юм.
1.3 Цасан хавтгай бүтээл : Сүүлийн ба тодорхойлогч алхам нь "цасан хавтгай" гадаргуу бүтээх юм, якшее нь ихэвчлэн наад захын нарийн шлифовка эсвэл пясан хаялт . Герметик гадаргуу нь тодорхой зөрүүтэй шлифовка дискт шлифовкад ордог, унIFORM микро-текстур үүсгэдэг. Энэ нь хялбархан хүндэтгүүлэлт биш, харин тодорхой гадаргууны хүндэтгүүлэлтийг үүсгэх удирдамжит процессын хэсэг юм. Ra утга нь ихэвчлэн 0,8–1,6 мкм хооронд хяналтанд байдаг ) Энэ нарийн хөрвүүлэлт нь фланцын онцгой мат дүрсийг үүсгэдэг, ажиллахад чухал угаа-хуурах үүрэгтэй.

Хоолойн цайвар кварц фланцевийн дээрх давуу талууд нь суурин материал болон тодорхой цайвар хөрвүүлэлтийн үр дүнд олж авдаг:
2.1 Эрдэнэний үнэт зүйлс : Дархан чист кварц (SiO₂ > 99,9%) гайхамшгийн дулаан төдийлөн чадварыг үзүүрлэдэг, тасралтгүй ажиллах температур нь дотогш 1100°C хүртэл, хугацааны хувьд богино хугацааны нөлөөлөл нь 1450°C , хаягдах цэг нь ойролцоогоор 1730°C - Тийм ээ. Мөн энэ нь химийн хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу хатуу ха 5.5 x 10−7 /°C ) Түүнчлэн цахилгаан цахилгаан тусгаарлагч нь маш сайн байдаг.
2.2 Холбогдлын үзэгдлийн чадварыг нэмэгдүүлсэн : "Бүсэл" загвар нь гол давуу тал юм. Угаах явцад үүссэн микро-тэмсэл нь буцалтгүй байдлын коефициент болон давхаргын гадаргууны холбооны талбайг нэмэгдүүлнэ. ПТФЕ эсвэл перфлюороэтер зэрэг цогцолбортой хэрэглэхэд энэ нь илүү тогтвортой цогцолбор олгож, даралтын хэлбэлзэл, дулаан өргөтгөөл, ургалтын улмаас цогцолбор нь тайрахыг урьдчилан сэргийлнэ. Энэ "микро-рүүний хаалттай" үр дүн даралтын тэсвэртэй байдлыг 30%толируулсан гадаргуутай харьцуулахад.
2.3 Их цэвэрлэгээтэй : Кварц нь металл бус материал учраас металл ионуудын бохирдолтой холбоотой эрсдлийг арилгадаг. семикондукторын байгууллага - Тийм ээ. Мөн материалын өндөр цэвэрлэгээ нь процессын урсгалд бохирдол оруулахгүй байхыг баталгаажуулдаг.
Тодорхой шинж чанаруудын үл харьцалцан хослол нь цацрагт кварц фланцүүдийг шаардамжт өндөр технологийн салбарт үл хүрэхүйц хийгүүд болгож өгдөг:
3.1 Семикондукторын Боловсруулалт : Түүн дотроо травелийн машинуудад, атом тавих (ALD) атом тавих (ALD) төхөөрөмжүүдэд хийн замд холболт ба камерийн хоорондын холболтод өргөн ашигладаг. Түүний өндөр цэвэршилт, химийн төвөгтүй бүснүүдтэй тулгарч чадах чадвар, агаарын даралтанд төдий л сайн тааралдаж, металлын бохирдлыг саатууж, вакуум системийн бүтэн бүүлгийг хангаж өгдөг.
3.2 Фотоцеллюляр ба дисплейн үйлдвэрлэл : PECVD төхөөрөмжүүдэд , түүн дотроо силин, аммиак зэрэг коррозион хийн нөлөөнд төдий л төвөгтүй бүснүүдтэй тулгарч чадах хийн үүсгүүр гуурсын холболтын цэгүүд рүү ашигладаг.
3.3 Оптик шилүүдийн үйлдвэрлэл : Түүн дотроо устөрөгчийн хлоридын нөлөөнд хэрэглэдэг өндөр температурт явагдах процессын төвөгтүй бүснүүдтэй тулгарч чадах хайрцагны холболтын холбогчүүд рүү ашигладаг.
3.4 Лаборатори, судалгаа түүнд өндөр температурт урвалын савууд, вакуум системүүд болон тусгай хэрэгсэл үйлдвэрлэхдээ ашигладаг. Түүнийг нарийн, стандарт бус дүрсүүдэд боловсруулж чадах чадвар нь лабораторийн онцгой хэрэгцээнд зохиогдсон төхөөрөмжүүдийн хувьд тун тохиромжтой бөөрсгөн бүтээмжит шилдүүр үүсгэх боломж олгоно (вакуум түвшин доод талд нь 5 x 10⁻⁵ Па -т хүртэл). Түүнийг химийн процесст, жишээлбэл, реакторууд, салгагчид, цагаан толгойн багануудад мөн ашигладаг.
Техникийн шаардлагууд
| Шинж чанарын агуулга | Шинж чанарын индекс |
| Нягт | 2.2×103кг/см³ |
| Хүч | 580KHN100 |
| Растяжим хүч | 4.9×107Па(Н/м²) |
| Сунгах дүрс | >1.1×109Па |
| Халуунд тэсвэрлэх коэффициент | 5.5×10-7см/см℃ |
| Дулааны дамжуулалт | 1.4Вт/м℃ |
| Тодорхой дулаан | 670Ж/кг℃ |
| Чимэглэлийн цэцэрлэг | 1680℃ |
| Бусад цэцэрлэг | 1215℃ |
Хөгжлийн түүх

Патент ба сертификат

Баглаажилт

Үйлчилгээ
Түүн дээрх асуулт хариулт
Загасны фермерийн цөөрөмд зориулсан усны агуулахын жижиг нүхтэй керамик хүчилтөрөгч тараагч
HRA 95 Өндөр хатуулагын SiC керамик рукав, цахилгаангүй болт
Нэвтрүүлэх чанарыг тохируулдаг циликон карбид шүүлтүүрийн савх, усны бохирдлыг шүүх шүүлтүүр
Өндөр нэвтрүүлэгтэй лазерийн бултуургын керамик рефлекторууд 99% Алюминийн оксид керамик хөндий