Дулаан тэсвэртэй, хэмжээ тохируулж болох тунгалаг кварцын Петри чаш

Бүтээдийн дэлгэрэнгүй мэдээлэл
Энэ арга нь газрын хийн даралт ба ороомог ашиглан урьдчилан үйлдвэрлэсэн кварцийн хоолойг крибультай хэлбэрт оруулахад оршино.

1. Бэлдмүүр үе

1.1 Анхдагч материал бэлдмүүр
Материал: Өндөр цэвэрлэг, дутагдалгүй шилт кварц гуурцаг. Энэ гуурцаг нь ихэвчлэн цахилгаан эсвэл галын хайлуулалтын аргаар үйлдвэрлэдэг, түүний чанар нь бүтээдийн гуурцагийн ажиллах чанарыг тодорхойлдог.
Загас бэлдмүүр: Өндөр нарийн төвөгтүй, дулаан төдөрхөй графит эсвэл түүнтэй төстэй хайлтгүй хоолойн загас ашигладаг. Загасны хоолой гуурцагийн гадаад хэлбэр (жишээ нь: бөмбөрцөг, цилиндр, онцгой хэлбэр) тодорхойлдог.


1.2 Кварц гуурцагийн анхдагч боловсруулалт
 Хоолойлох: Кварц гуурцаг шаардлагатай уртад хагалдаг.
   Цэвэрлэгээ: Гуурцаг өндөр цэвэрлэг ус, хүчлийн шүүрлэг, ультрахавтгай усанд угаалдаар гадаад ба дотоод хананы бүх бохирдлыг арилгадаг.
 Нэг төгсгөл хатгах : Гуурцагийн нэг төгсгөл водород-хүчлөдөр галын туушин халуунд хүртэл хайлуулдаг, түүнээс гуурцагийн доод хэсгийн гөлгөр, хагас бөмбөрцөг хэлбэртэй тааруулдаг.

2. Дулааны формозлох үе – Үндсэн процесс

Энэ нь тусгайлан зориулсан шил хувин ялзаргын эргэдэс эсвэл автомжуулсан формжуулах төхөөрөмж дээр хийгддэг хамгийн чухал алхам юм.

2.1 Дулааны нөлөөгөөр халуун болгох ба хялгасруулах
· Урьдчилан боловсруулсан кварцийн хоолойг (битүүлсэн төгсгөл нь урд талд) эргэдэсэн дээр суулгаж, урьдчилан халасан загварын дотор байрлуулна.
· Кварцийн хоолойн халууцах хэсэг (иргэний бие болох болзошгүй хэсэг) эргэж байх үедээ устөрөгч-хүчилтөрөгчийн анивч эсвэл плазмын шатагчаар жигд халуундах ёстой. Эргэлт нь жигд халаахад маш чухал.
· Кварцыг зөөлрүүлэх температурт (ойролцоогоор 1650-1800°C) хүртэл халтаана, ингэснээр кварц бүрэн хайлалгүйгээр хөдөлгөөнтэй, хэлбэржүүлэгдэх боломжтой болно.

2.2 Хийн даралт үүсгэх ба хэлбэрлэх
· Кварц зөөлөрсөн үед нээлттэй төгсгөлөөс өндөр цэвэршилтэй инерт хий (жишээ нь: Азот, Аргон) труб дотор оруулан, даралтыг нарийн тохируулна.
· Дотоод хийний даралт нь зөөлөрсөн кварцийн ханыг ижил жигд байдлаар гадагш тэлэлтэд оруулж, формийн доторх гадаргуугийн хэлбэрт бүрэн нийцүүлнэ.
· Форм нь эцсийн гадаад геометрийг тодорхойлох бол хийний даралт нь хэмжээний нарийвчлал болон гладкийн гадаргуугийн төгсгөлийг хангана.

2.3 Төмөрлөх ба хөхрүүлэх
· Хэлбэржүүлсний дараа кварцийн Петрийн савыг форм дотор эсвэл ойролцоох хэвэнд байх үед л анилируулна. Хурдан халаах, хөргөх үед үүссэн термийн стрессыг арилгахын тулд өргөн, зөөлөн анил ашиглана.
· Хэлбэржүүлсэн кварцийн Петрийн савыг формноос гаргахаас өмнө хяналттай нөхцөлдөөр өрөөний температурт хүртэл хөргөнө.

3. Дараагийн боловсруулалт ба төгсгөлчлөл

3.1 Хайчлах ба нээх
· Хэлбэржүүлсэн кварцийн Петрийн савны нээлттэй төгсгөлийг алмазан дугуй шаазан эсвэл лазерийн таслагч ашиглан нарийвчлалтай өндөр, квадрат хэлбэртэй болгохын тулд таслана.
· Хурц, таслагдсан ирмэгийг чиплэх болон стрессийн концентрацыг сааруулахын тулд галын эсвэл механик аргаар жигд, муруйлгасан төгсгөлд хүргэж засдаг.

3.2 Өндөр хүчтэрлүүдний угаалга ба шинжилгээ
· Цэвэрлэгээ: Кварцийн Петри блюд олон алхамт, өндөр цэвэршилийн цэвэрлэх арга (хүчилтэй цэвэрлэх, дууны долгионд цэвэрлэх, маш цэвэр усаар зайлуулах) -д дамжин боловсролтын үед үлдсэн бүх бохирдлыг арилгана.
· Шалгалт:
· Хэмжээний шалгалт: Диаметр, өндөр, ханын зузааныг шалгах.
· Визуал шалгалт: Хяналттай гэрэл доор дотор ба гадна талын гадаргуу дээрх бөмбөлөг, зовхи, толботой эсвэл бусад дутагдалд хяналт тавих.

 4. Тусгай өндөр түвшний боловсруулалт — Дотоод гадаргуугаа галд хөвхрүүлэх

Хагас дамжуулагч эсвэл премиум фотогүйцэтгэлийн хэрэглээнд ашигладаг өндөр түвшний крибльтэй тохиолдолд нэмэлтээр чухал алхам хийгдэнэ:
· Дотоод гадаргуугаа галд хөвхрүүлэх
· Зориулалт: Тунгалаг кварцийн Петри блюдын дотор талд идеал нягт, жигд, тольтой мэт тунгалаг давхарга үүсгэх.
· Арга: Устөрөгч-хүчилтөрөгчийн дөл эсвэл плазмын торчийг оруулж, кварцийн Петрийн савны дотор талын бүх гадаргууг шүүдэрлэх үед савыг эргүүлнэ.
· Нөлөө:
· Микро нүхсийг таглах: Тунгалаг кварцийн Петрийн сав нь микро трещин болон жижиг нүхсийг бүрэн арилгана.
· Гадаргуугийн нарийслыг бууруулах: Тунгалаг кварцийн Петрийн сав атомын түвшинд гладкийн гадаргуу үүсгэж, материал наалдахыг урьдчилан сэргийлж, цэвэрлэхийг хялбар болгоно.
· Девитрификцац буюу кристалжилтын тэсвэрт чанарыг сайжруулах: Тунгалаг кварцийн Петрийн савны өндөр температур дахь кристалжилтын эсрэг тэсвэрт чанарыг эрс нэмэгдүүлж, тийлмийн үйлчилгээний насны хугацааг уртасгадаг.

Тунгалаг кварцийн Петрийн савны нэгтгэсэн ажиллагааны диаграм:
Өндөр цэвэршилттэй кварцийн хоолой → Хайчлах → Цэвэрлэх → Нэг төгсгөлийг таглах → Загварт суулгах → Эргэлтийн дулаанжуулалт ба зөөлрүүлэлт → Хийн даралтаар хэлбэр өгөх → Аннилинг (дулааны боловсруулалт) → Загвараас гаргах → Хайчлах/Нээх → Ирмэгийг полирлох → (Дотор гадаргууг шүүдэрлэх) → Өндөр интенсивтэй цэвэрлэх → Эцсийн шалгалт → Цэвэр савлалт

5. Цайвар кварц Петри савны давуу талууд:
5.1Хамгийн чанартай : Цайвар кварц Петри сав нь өндөр цэвэр кварц хоолойг ашиглаж, боолгож бүүрхүүлэлтийг хамгийн бага зэрэгт хүргэнэ.
5.2Өндөр нарийвчлал : Тундай кварц-ийн Петри дискийн хэлбэр үүсгэх нь хэмжээний тогтвортой байдлыг бүрэн хангана.
5.3 Хэлбэр үүсгэх нь хөдөлмүр : Нийлмүл ба тусгай геометрийн хэлбэрүүдийг үүсгэх чадвар.
5.4 Давхар сайн гадаргуу чанар: Галын гөлгөржүүлэлт тундай кварц-ийн Петри дискийн дотоод гадаргуу чанарын түвшин үлдэшгүй өндөр.

6. Үндсэн хэрэглээ:
6.1 Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэл : Өндөр температурт диффузия, исэлдүүлэх процессын ба эпитакси йн үйлдвэрлэлд.
6.2 Лаборатори ба шинжилгээ, хөгжүүлэлт : Материалын синтез, кристаллын өсөлт ба өндөр температурт химийн урвалд.
6.3 Фотоцеллюлар технологийн судалгаа, хөгжүүлэлт : Туршилтын силикон үржүүлэлт, боловсруулалтад.
6.4 Оптоэлектроник : Фосфорын шахалт, лазер кристалл, бусад тусгай материалд.

  
Техникчлалын параметрүүд

Хөгжлийн түүх

Патент ба сертификат

Багц

Үйлчилгээ                                                                         

Түүн дээр асуух