ممتص فراغي سيراميكي دقيق المسام من كربيد السيليكون SiC عالي الدقة

المزايا الأساسية

ما هو مقعد شفط كربيد السيليكون؟

مقعد الشفط هو جهاز يستخدم الشفط (الفراغ) لتثبيت قطعة العمل في مكانها أثناء التشغيل أو الطحن أو الفحص، بدلاً من استخدام المشابك الميكانيكية.

مقعد الشفط من كربيد السيليكون هو مقعد يتم تصنيعه خصيصًا من مادة كربيد السيليكون.

لماذا تُعد مادة كربيد السيليكون (SiC) هي المادة المفضلة؟

هذه هي النقطة الأساسية. يمتلك كربيد السيليكون مجموعة فريدة من الخصائص تجعله مثاليًا لهذا التطبيق المطلوب:

الصلابة الاستثنائية ومقاومة التآكل:

الميزة: كربيد السيليكون صلب جدًا (9.5 على مقياس موهس، قريب من الماس). وهذا يجعله مقاومًا بشدة للتآكل الناتج عن قطعة العمل (غالبًا رقاقة سيليكون) وأي شوائب خلال المعالجة. ويضمن ذلك بقاء سطح المقعد مسطحًا وغير تالف لفترة طويلة جدًا، مما يؤدي إلى إطالة عمر الخدمة وتقليل الأوقات المتوقفة.

الصلابة الفائقة (معامل يونغ العالي):

الميزة: لا ينثني كربيد السيليكون أو يتغير شكله بسهولة تحت الضغط. ويتيح ذلك استقراراً دينامياً استثنائياً أثناء العمليات عالية السرعة مثل الطحن أو التشغيل. ولا يهتز القابض أو يتشوه، وهو أمر بالغ الأهمية لتحقيق تحملات دون ميكرونية.

خصائص حرارية ممتازة:

• توصيل حراري عالي: يُبدد كربيد السيليكون الحرارة بكفاءة كبيرة. وهذا يمنع حدوث "الانطلاق الحراري" الذي تتراكم فيه الحرارة الناتجة عن عملية التشغيل وتؤدي إلى تشويه القابض وقطعة العمل معاً.
• تمدد حراري منخفض: تتغير أبعاد كربيد السيليكون قليلاً جداً مع تقلبات درجات الحرارة. ويضمن هذا استقرار الأبعاد للقابض حتى في البيئات غير الخاضعة للتحكم في درجة الحرارة، مع الحفاظ على استوائه الدقيق.

خواص كيميائية خاملة ممتازة:

الميزة: يتمتع بمقاومة ضد معظم الأحماض والقواعد والمذيبات المستخدمة في تصنيع أشباه الموصلات (مثلاً في عمليات التنظيف مثل تنظيف RCA). وهذا يمنع تآكل القابض أو تلويث الشرائح.

كثافة منخفضة:

الميزة: على الرغم من صلابته وقوته العالية، فإن كربيد السيليكون (SiC) خفيف نسبيًا. وهذا يُعد مفيدًا للحد من كتلة الأجزاء المتحركة في الآلات عالية السرعة.

• （1）المسامية العالية وحجم المسام الموحّد يتيحان مقاومة منخفضة لتدفق الغاز والسوائل في التطبيقات، وصلابة جيدة واستقرار أبعادي. يتمتع الخزف بصلابة عالية (صلادة موش ≥8)، ويمكنه تحمل درجات حرارة عالية (تصل إلى أكثر من 500°م)، كما أنه مقاوم للتآكل الناتج عن مختلف الأحماض والقواعد. يتمتع بعمر خدمة طويل، يصل إلى 3 إلى 5 أضعاف عمر الماصات التقليدية.
• （2）مقاومة كيميائية ممتازة في كل من الظروف الحمضية والقلوية، ومقاومة منخفضة لتدفق الغاز والسوائل خلال التطبيق. تضمن البنية المسامية على مستوى الميكرون توزيع شفط موحد. حتى إذا كان سطح القطعة العاملة غير مستوٍ قليلاً، فإنه لا يزال بإمكانه الالتصاق بإحكام. وهو مناسب بشكل خاص للمواد الرقيقة جدًا والهشة مثل الزجاج وأطباق السيليكون.
• （3）أحجام مسام موحدة ومساحات سطحية عالية، ومقاومة جيدة للحوامض والقلويات. السطح أملس وليس عرضة لالتصاق المواد أو الانسداد، مما يقلل بشكل كبير من تكرار التنظيف وإيقاف الصيانة، ويقلل من تكاليف التشغيل

سيناريوهات التطبيق

• تغليف الشريحة: ركائز شرائح ثابتة وركائز خزفية، مناسبة لمتطلبات النقل والتحديد السريع في خطوط الإنتاج الآلية
• معالجة العدسات البصرية: امتصاص زجاج الكوارتز والعدسات البصرية، وتُستخدم في عمليات التلميع والطلاء وغيرها لمنع تشوه العدسة أو تلوثها
• تلميع القوالب: تثبيت تجويف القالب عالي الدقة لضمان استقرار الموضع أثناء عملية التلميع وتحسين جودة التشطيب السطحي.
• تصنيع الشاشات: تثبيت ركائز الزجاج لشاشات OLED وLCD لتلبية متطلبات التعامل مع الركائز فائقة الرقة ومعالجتها دون إتلاف 。
• معالجة رقائق السيليكون/الرقائق: امتصاص رقائق السيليكون بمقاس 2-12 بوصة بدقة خلال عمليات التصوير الضوئي، والقطع، والطحن وغيرها لمنع خدوش السطح وضمان دقة المعالجة.
• الأجهزة الطبية: تُستخدم في تصنيع واختبار رقائق الميكروفلويديك، والشرائح الحيوية، والمكونات الخزفية الدقيقة.
• تصنيع البطاريات: تُستخدم في المناورة الدقيقة ومعالجة صفائح أقطاب البطاريات الليثيومية، والكهرباء الصلبة، ولوحات خلايا الوقود الثنائية القطب.
• PCB/FPC: توفر امتصاصًا مفرغًا موثوقًا خلال تجميع SMT، وفحص AOI، والتنقيط بالليزر، وفصل الألواح
• الفضاء والدفاع الوطني: يلعب دورًا في التصنيع الفائق الدقة للإلكترونيات الجوية، والأجهزة القصور الذاتي ومكونات التوجيه.

جدول المعاملات الفنية