Chuck Vakum Seramik Silikon Karbida Mikropori Ketepatan Tinggi SiC

Kelebihan Utama

Apakah itu Penyepit Vakum SiC?

Penyepit vakum ialah peranti yang menggunakan penghisapan (vakum) untuk memegang benda kerja pada kedudukannya semasa proses pemesinan, penggilapan, atau pemeriksaan, sebagai ganti kepada pengapit mekanikal.

Penyepit Vakum SiC adalah penyepit yang khusus diperbuat daripada Silicon Karbida.

Mengapa Silicon Karbida (SiC) merupakan Bahan Pilihan?

Inilah perkara utama. SiC memiliki kombinasi unik sifat-sifat yang menjadikannya sesuai untuk aplikasi yang mencabar ini:

Kekerasan Luar Biasa dan Rintangan Haus:

Manfaat: SiC sangat keras (9.5 pada skala Mohs, hampir setanding berlian). Ini menjadikannya sangat tahan terhadap haus akibat benda kerja (kerap kali wafer silikon) dan sebarang serpihan semasa pemprosesan. Ini memastikan permukaan penyepit kekal rata dan tidak rosak untuk jangka masa yang panjang, menghasilkan jangka hayat perkhidmatan yang lebih lama dan kurang masa hentian.

Kekukuhan Luar Biasa (Modulus Young yang Tinggi):

Kelebihan: SiC tidak mudah lentur atau berubah bentuk di bawah beban. Ini memberikan kestabilan dinamik yang luar biasa semasa proses berkelajuan tinggi seperti penggilapan atau pemesinan. Penjepit tidak akan bergetar atau terherot, yang merupakan perkara kritikal untuk mencapai rongga bersubsatu mikron.

Sifat Terma Luar Biasa:

• Kekonduksian Terma Tinggi: SiC menyebarkan haba dengan sangat berkesan. Ini mengelakkan "lari terma" di mana haba daripada proses pemesinan terkumpul dan menyebabkan herotan pada penjepit dan benda kerja.
• Pengembangan Terma Rendah: Dimensi SiC berubah sangat sedikit dengan turun naik suhu. Ini memastikan penjepit kekal stabil dari segi dimensi walaupun dalam persekitaran yang tidak dikawal suhunya, mengekalkan keataan rata yang tepat.

Kemandulan Kimia yang Sangat Baik:

Kelebihan: Ia tahan terhadap kebanyakan asid, alkali, dan pelarut yang digunakan dalam pembuatan semikonduktor (contohnya, dalam proses pembersihan seperti pembersihan RCA). Ini mengelakkan penjepit daripada terhakis atau mencemarkan wafer.

Ketumpatan rendah:

Kelebihan: Walaupun mempunyai kekakuan dan kekerasan yang tinggi, SiC adalah agak ringan. Ini merupakan kelebihan untuk mengurangkan jisim komponen bergerak dalam mesin berkelajuan tinggi.

• （1）Keporosan tinggi dan saiz liang yang seragam membolehkan rintangan rendah bagi aliran gas dan cecair, kekukuhan dan kestabilan dimensi yang baik. Bahan seramik mempunyai kekerasan tinggi (kekerasan Mohs ≥8), boleh menahan suhu tinggi (sehingga melebihi 500°C), serta tahan terhadap pelbagai kakisan asid dan alkali. Ia mempunyai jangka hayat yang panjang, iaitu 3 hingga 5 kali ganda lebih lama daripada cawan penyedut tradisional.
• (2) Ketahanan kimia yang sangat baik dalam keadaan asid dan alkali, rintangan rendah bagi aliran gas dan cecair melalui aplikasi. Struktur liang aras mikron memastikan taburan penyedutan yang seragam. Walaupun permukaan benda kerja mempunyai ketidakrataan yang sedikit, ia masih boleh melekat dengan kuat. Sangat sesuai untuk bahan ultra nipis dan rapuh seperti kaca dan wafer silikon.
• (3) Saiz liang yang seragam dan luas permukaan yang tinggi, ketahanan asid dan alkali yang baik. Permukaan licin dan tidak mudah melekatkan bahan atau tersumbat, secara ketara mengurangkan kekerapan pembersihan dan penyelenggaraan berhenti, serta merendahkan kos pengendalian

Senario Penggunaan

• Pembungkusan cip: Substrat cip tetap dan substrat seramik, sesuai untuk keperluan pemindahan dan penentuan kedudukan kelajuan tinggi dalam talian pengeluaran automatik
• Pemprosesan kanta optik: Menyerap kaca kuartz dan kanta optik, digunakan dalam proses penggilapan, salutan dan lain-lain untuk mencegah ubah bentuk atau pencemaran kanta
• Penggilapan acuan: Tetapkan rongga acuan presisi tinggi untuk memastikan kestabilan kedudukan semasa proses penggilapan dan meningkatkan kemasan permukaan.
• Pembuatan paparan: Memegang substrat kaca OLED dan LCD untuk memenuhi keperluan pengendalian dan pemprosesan substrat ultra nipis tanpa kerosakan 。
• Pemprosesan silikon wafer/wafer: Semasa litografi foto, pemotongan, penggilapan dan proses lain, serap secara tepat wafer silikon 2-12 inci untuk mencegah calar pada permukaan dan memastikan ketepatan pemprosesan.
• Peralatan perubatan: digunakan dalam pembuatan dan pengujian cip mikrofluidik, cip bio dan komponen seramik presisi.
• Pembuatan bateri: digunakan untuk pengendalian dan pemprosesan yang tepat terhadap kepingan elektrod bateri litium, elektrolit pepejal dan plat bipolar sel bahan api.
• PCB/FPC: Menyediakan penyerapan vakum yang boleh dipercayai semasa pemasangan SMT, pemeriksaan AOI, pengeboran laser dan pemisahan panel
• Aerospace dan Pertahanan Kebangsaan: Ia memainkan peranan dalam pembuatan ultra-tepat untuk avionik, peranti inersia dan komponen panduan.

Jadual Parameter Teknikal