مکنده خلأ سرامیکی کاربید سیلیسیم ریزتخلخل با دقت بالا SiC

مزایای اصلی

مکش خلأ SiC چیست؟

مکش خلأ وسیله‌ای است که از مکش (خلأ) برای نگه‌داشتن قطعه کار در جای خود در حین ماشین‌کاری، سنگ‌زنی یا بازرسی استفاده می‌کند، به جای استفاده از گیره‌های مکانیکی.

مکش خلأ SiC نوعی مکش خلأ است که به طور خاص از کاربید سیلیسیوم ساخته شده است.

چرا کاربید سیلیسیوم (SiC) ماده مورد نظر است؟

این هسته اصلی موضوع است. SiC ترکیبی منحصربه‌فرد از خواص دارد که آن را برای این کاربرد پرمخاطبه ایده‌آل می‌سازد:

سختی بسیار بالا و مقاومت در برابر سایش:

مزیت: SiC بسیار سخت است (9.5 در مقیاس موهم، نزدیک به الماس). این ویژگی باعث مقاومت بالای آن در برابر سایش ناشی از قطعه کار (که اغلب یک ویفر سیلیسیوم است) و همچنین ذرات آلاینده در حین فرآیند پردازش می‌شود. این امر تضمین می‌کند که سطح مکش خلأ برای مدت طولانی صاف و بدون آسیب باقی بماند و در نتیجه عمر مفید بیشتری داشته باشد و زمان توقف تولید کاهش یابد.

سختی عالی (مدول یانگ بالا):

مزیت: کاربید سیلیسیم به راحتی تحت بار خم یا تغییر شکل نمی‌دهد. این ویژگی پایداری دینامیکی استثنایی در فرآیندهای با سرعت بالا مانند سنگ‌زنی یا ماشین‌کاری فراهم می‌کند. صفحه مغناطیسی نوسان یا تحریف نمی‌کند که برای دستیابی به تلورانس‌های زیر میکرون حیاتی است.

خواص حرارتی برجسته:

• هدایت حرارتی بالا: کاربید سیلیسیم گرما را بسیار مؤثر هدایت می‌کند. این امر از "فرار حرارتی" جلوگیری می‌کند که در آن گرمای ناشی از فرآیند ماشین‌کاری افزایش یافته و باعث تحریف صفحه مغناطیسی و قطعه کار می‌شود.
• انبساط حرارتی کم: ابعاد کاربید سیلیسیم با نوسانات دما تغییر چندانی نمی‌کند. این ویژگی تضمین می‌کند که صفحه مغناطیسی حتی در محیط‌های بدون کنترل دما، از نظر ابعادی پایدار باقی بماند و تختی دقیق خود را حفظ کند.

بی‌اثری شیمیایی عالی:

مزیت: این ماده در برابر اغلب اسیدها، بازها و حلال‌های مورد استفاده در ساخت نیمه‌هادی‌ها (مثلاً در فرآیندهای تمیزکاری مانند تمیزکاری RCA) مقاوم است. این امر باعث می‌شود صفحه مغناطیسی دچار خوردگی یا آلوده کردن ویفرها نشود.

چگالی پائین:

مزیت: با وجود سفتی و سختی بالای SiC، این ماده نسبتاً سبک است. این ویژگی در کاهش جرم قطعات متحرک در ماشین‌آلات با سرعت بالا مفید است.

• （1）تخلخل بالا و اندازه منافذ یکنواخت، مقاومت کم را برای جریان گاز و مایع در کاربردها فراهم می‌کند، سفتی خوب و پایداری ابعادی. ماده سرامیکی سختی بالایی دارد (سختی موهر ≥8)، می‌تواند دماهای بالا (تا بیش از 500°C) را تحمل کند و در برابر انواع خوردگی اسیدها و قلیا مقاوم است. عمر طولانی دارد که 3 تا 5 برابر کیسه‌های مکنده سنتی است.
• （2）مقاومت شیمیایی عالی در شرایط اسیدی و قلیایی، مقاومت کم برای عبور جریان گاز و مایع از طریق کاربرد. ساختار متخلخل در سطح میکرونی توزیع مکش یکنواخت را تضمین می‌کند. حتی اگر سطح قطعه کار دارای ناهمواری جزئی باشد، همچنان به خوبی چسبیده می‌ماند. این ویژگی به‌ویژه برای مواد بسیار نازک و شکننده مانند شیشه و وافرهای سیلیکونی مناسب است.
• （3）اندازه حفره‌های یکنواخت و سطح ویژه بالا، مقاومت خوب در برابر اسید و قلیا. سطح صاف است و تمایل کمی به چسبیدن مواد یا گرفتگی دارد که این امر فراوانی تمیزکاری و توقف‌های تعمیراتی را به‌طور چشمگیری کاهش می‌دهد و هزینه‌های عملیاتی را پایین می‌آورد

سناریوهای کاربردی

• بسته‌بندی تراشه: زیرلایه‌های تثبیت‌شده تراشه و زیرلایه‌های سرامیکی، مناسب برای نیازهای انتقال و موقعیت‌یابی با سرعت بالا در خطوط تولید خودکار
• پردازش لنزهای نوری: جذب شیشه کوارتز و لنزهای نوری، مورد استفاده در فرآیندهای پولیش، پوشش‌دهی و سایر مراحل به منظور جلوگیری از تغییر شکل یا آلودگی لنز
• پولیش قالب: ثابت‌کردن حفره قالب با دقت بالا برای اطمینان از پایداری موقعیت در طول فرآیند پولیش و بهبود کیفیت پرداخت سطح.
• ساخت نمایشگر: ثابت کردن زیرلایه‌های شیشه‌ای OLED و LCD به منظور برآوردن الزامات دستکاری و پردازش بدون آسیب زیرلایه‌های بسیار نازک 。
• پردازش ویفر سیلیکونی/ویفر: در طول فرآیندهای فوتولیتوگرافی، برش، سنگ‌زنی و سایر مراحل، ویفرهای سیلیکونی 2 تا 12 اینچی را به‌طور دقیق جذب کنید تا از خراش سطح جلوگیری شود و دقت پردازش تضمین گردد.
• دستگاه‌های پزشکی: مورد استفاده در ساخت و آزمایش تراشه‌های میکروسیالی، تراشه‌های بیولوژیکی و قطعات سرامیکی دقیق.
• تولید باتری: مورد استفاده برای دستکاری و پردازش دقیق ورق‌های الکترود باتری لیتیومی، الکترولیت‌های جامد و صفحات دوقطبی سلول سوختی.
• مدار چاپی/FPC: این مورد جذب خلأ قابل اعتمادی را در طی مونتاژ SMT، بازرسی AOI، سوراخکاری لیزری و جداسازی تابلو فراهم می‌کند
• هوانوردی و دفاع ملی: این مورد در ساخت فوق دقت تجهیزات الکترونیکی هوانوردی، دستگاه‌های لختی و اجزای هدایت نقش ایفا می‌کند.

جدول پارامترهای فنی