ชัคเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ไมโครพอรัส SiC ความแม่นยำสูงแบบสุญญากาศ

จุดเด่นหลัก

ชิ้นส่วนยึดสุญญากาศแบบ SiC คืออะไร

ชิ้นส่วนยึดสุญญากาศคืออุปกรณ์ที่ใช้แรงดูด (สุญญากาศ) เพื่อยึดชิ้นงานให้อยู่กับที่ระหว่างกระบวนการกลึง ขัด หรือตรวจสอบ แทนการใช้แม่พิมพ์ยึดเชิงกล

ชิ้นส่วนยึดสุญญากาศแบบ SiC คือชิ้นส่วนที่ผลิตขึ้นมาโดยเฉพาะจากวัสดุซิลิคอนคาร์ไบด์

ทำไมซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) จึงเป็นวัสดุที่เลือกใช้

นี่คือหัวใจสำคัญ SiC มีคุณสมบัติพิเศษหลายประการที่ทำให้วัสดุนี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการใช้งานที่ต้องการประสิทธิภาพสูงนี้

ความแข็งและความทนทานต่อการสึกหรออย่างยอดเยี่ยม

ประโยชน์: SiC มีความแข็งมาก (9.5 บนสเกลโมส์ ใกล้เคียงกับเพชร) ทำให้มีความต้านทานต่อการกัดกร่อนจากชิ้นงาน (มักเป็นเวเฟอร์ซิลิคอน) และสิ่งสกปรกต่างๆ ระหว่างกระบวนการผลิตได้ดีเยี่ยม ส่งผลให้พื้นผิวของชิ้นส่วนยึดคงเรียบและไม่เสียรูปเป็นเวลานาน ทำให้อายุการใช้งานยาวนานขึ้น และลดเวลาการหยุดทำงาน

ความแข็งแรงเหนียวแน่นสูง (มอดูลัสยังส์สูง)

ข้อดี: ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ไม่ยืดหยุ่นหรือเสียรูปง่ายภายใต้แรงกด ซึ่งช่วยให้มีความมั่นคงเชิงพลวัตที่ยอดเยี่ยมในกระบวนการความเร็วสูง เช่น การเจียรหรือการกลึง ชักจะไม่สั่นหรือบิดเบี้ยว ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งในการบรรลุค่าความคลาดเคลื่อนระดับต่ำกว่าหนึ่งไมครอน

คุณสมบัติทางความร้อนที่โดดเด่น:

• การนำความร้อนได้ดี: SiC สามารถกระจายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพมาก ซึ่งช่วยป้องกันปรากฏการณ์ "ความร้อนสะสม" ที่เกิดจากกระบวนการกลึง ซึ่งอาจทำให้ชักและชิ้นงานบิดเบี้ยวได้
• การขยายตัวจากความร้อนต่ำ: มิติของ SiC เปลี่ยนแปลงน้อยมากเมื่ออุณหภูมิเปลี่ยนแปลง ซึ่งทำให้มั่นใจได้ว่าชักจะคงความมั่นคงของมิติไว้ได้แม้ในสภาพแวดล้อมที่ไม่มีการควบคุมอุณหภูมิ และรักษาระนาบผิวเรียบที่แม่นยำไว้ได้

ความเฉื่อยทางเคมีที่ยอดเยี่ยม:

ข้อดี: ทนต่อกรด เบส และตัวทำละลายส่วนใหญ่ที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (เช่น ในกระบวนการล้างแบบ RCA clean) ซึ่งช่วยป้องกันไม่ให้ชักเกิดการกัดกร่อนหรือปนเปื้อนแผ่นเวเฟอร์

ความหนาแน่นต่ำ:

ข้อได้เปรียบ: แม้ว่าซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) จะมีความแข็งและความเหนียวสูงมาก แต่ก็มีน้ำหนักที่ค่อนข้างเบา ซึ่งเป็นประโยชน์ต่อการลดมวลของชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหวในเครื่องจักรความเร็วสูง

• （1）ความพรุนสูงและขนาดรูพรุนที่สม่ำเสมอ ทำให้มีแรงต้านทานต่ำสำหรับการไหลของก๊าซและของเหลวในแอปพลิเคชันต่างๆ มีความแข็งแรงและความมั่นคงทางมิติที่ดี วัสดุเซรามิกมีความแข็งสูง (ความแข็งแบบโมห์ส ≥8) ทนต่ออุณหภูมิสูง (สูงกว่า 500°C) และทนต่อการกัดกร่อนจากกรดและด่างต่างๆ ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนาน นานกว่าแผ่นดูดแบบเดิม 3 ถึง 5 เท่า
• （2）มีความต้านทานทางเคมีได้ดีเยี่ยมทั้งในสภาวะกรดและด่าง ความต้านทานต่ำต่อการไหลของก๊าซและของเหลวผ่านการใช้งาน โครงสร้างรูพรุนระดับไมครอนช่วยให้มั่นใจได้ว่าแรงดูดซึมกระจายอย่างสม่ำเสมอ แม้พื้นผิวของชิ้นงานจะขรุขระเล็กน้อย ก็ยังสามารถยึดติดได้อย่างมั่นคง โดยเฉพาะเหมาะสำหรับวัสดุบางเฉียบและเปราะบาง เช่น กระจกและแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน
• （3）ขนาดรูพรุนมีความสม่ำเสมอและพื้นที่ผิวสูง มีความต้านทานต่อกรดและด่างได้ดี พื้นผิวเรียบไม่ทำให้วัสดุเกาะติดหรืออุดตัน ลดความถี่ในการทำความสะอาดและการหยุดเดินเครื่องเพื่อบำรุงรักษาอย่างมีนัยสำคัญ และช่วยลดต้นทุนการดำเนินงาน

สถานการณ์การประยุกต์ใช้งาน

• การบรรจุชิป: ซับสเตรตชิปแบบคงที่และซับสเตรตเซรามิก เหมาะสำหรับข้อกำหนดการถ่ายโอนและจัดตำแหน่งด้วยความเร็วสูงในสายการผลิตอัตโนมัติ
• การประมวลผลเลนส์ออปติคอล: ดูดซับกระจกควอตซ์และเลนส์ออปติคอล ใช้ในกระบวนการขัดเงา การเคลือบผิว และกระบวนการอื่นๆ เพื่อป้องกันการเสียรูปหรือปนเปื้อนของเลนส์
• การขัดแม่พิมพ์: ยึดโพรงแม่พิมพ์ความแม่นยำสูงเพื่อให้มั่นใจถึงความเสถียรของตำแหน่งระหว่างกระบวนการขัด และเพิ่มคุณภาพผิวเรียบ
• การผลิตจอแสดงผล: การยึดแผ่นแก้วซับสเตรต OLED และ LCD เพื่อให้ตรงตามข้อกำหนดของการจัดการและประมวลผลซับสเตรตบางพิเศษโดยไม่ทำให้เกิดความเสียหาย 。
• การประมวลผลชิ้นเวเฟอร์ซิลิคอน/เวเฟอร์: ระหว่างกระบวนการลิโธกราฟี การตัด การเจียร และกระบวนการอื่นๆ ดูดยึดเวเฟอร์ซิลิคอนขนาด 2-12 นิ้วอย่างแม่นยำเพื่อป้องกันรอยขีดข่วนบนผิวและรักษาความแม่นยำในการประมวลผล
• อุปกรณ์ทางการแพทย์: ใช้สำหรับการผลิตและการทดสอบชิปไมโครฟลูอิดิกส์ ชิปชีวภาพ และชิ้นส่วนเซรามิกความแม่นยำสูง
• การผลิตแบตเตอรี่: ใช้สำหรับการจัดการและการประมวลผลแผ่นอิเล็กโทรดของแบตเตอรี่ลิเธียม เซรามิกอิเล็กโทรไลต์แบบแข็ง และแผ่นไบโพลาร์ของเซลล์เชื้อเพลิงอย่างแม่นยำ
• PCB/FPC: ให้การดูดยึดด้วยแรงสุญญากาศที่เชื่อถือได้ในระหว่างการประกอบ SMT การตรวจสอบ AOI การเจาะรูด้วยเลเซอร์ และการแยกแผง
• การบินและอวกาศกับการป้องกันประเทศ: มีบทบาทในการผลิตความแม่นยำสูงมากสำหรับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์การบิน อุปกรณ์เฉื่อย และชิ้นส่วนนำวิถี

ตารางพารามิเตอร์ทางเทคนิค