Korkean tarkkuuden mikrohuokoinen piikarbidi SiC -keramiikkavakuumiimuri

Ytimiset edut

Mikä on SiC-vakuumiurin?

Vakuumiurin on laite, joka käyttää imua (vakuumia) kiinnittääkseen työkappaleen paikoilleen koneistuksen, hionnan tai tarkastuksen aikana mekaanisten salpauksien sijaan.

SiC-vakuumiurin on erityisesti piikarbidista valmistettu urin.

Miksi piikarbidi (SiC) on materiaalivalinta?

Tämä on ytimessä. SiC:llä on ainutlaatuinen ominaisuuksien yhdistelmä, joka tekee siitä täydellisen tämän vaativan sovelluksen kannalta:

Erinomainen kovuus ja kulumiskestävyys:

Etuna: SiC on erittäin kova (9,5 Mohsin asteikolla, lähellä timanttia). Tämä tekee siitä erittäin kestävän työkappaleen (usein piipiirilevyn) aiheuttamaa kulutusta ja prosessoinnin aikana esiintyvää roskaa vastaan. Tämä takaa, että urimen pinta pysyy tasaisena ja vaurioitumattomana hyvin pitkään, mikä johtaa pidempään käyttöikään ja vähemmän huoltokatkoja.

Erinomainen jäykkyys (korkea Youngin moduuli):

Etuna: SiC ei taipu tai muodonmuutu helposti kuormitettaessa. Tämä tarjoaa erinomaisen dynaamisen vakautta nopeissa prosesseissa, kuten hionnassa tai koneistuksessa. Kiinnityslaite ei värise tai vääristy, mikä on ratkaisevan tärkeää alle mikrometrin toleranssien saavuttamiseksi.

Erinomaiset lämpöominaisuudet:

• Korkea lämmönjohtavuus: SiC siirtää lämpöä erittäin tehokkaasti. Tämä estää "lämpökarkelun", jossa koneistuksesta syntyvä lämpö kertyy ja vääristää sekä kiinnityslaitteen että työkappaleen.
• Alhainen lämpölaajeneminen: SiC:n mitat muuttuvat hyvin vähän lämpötilan vaihdellessa. Tämä takaa kiinnityslaitteen ulottuvuusvakauden myös lämpötilaa säätämättömissä ympäristöissä, säilyttäen sen tarkan tasomaisuuden.

Erinomainen kemiallinen inerttisyys:

Etuna: Se kestää useimpia happoja, emäksiä ja liuottimia, joita käytetään puolijohdevalmistuksessa (esimerkiksi RCA-puhdistuksen kaltaisissa puhdistusprosesseissa). Tämä estää kiinnityslaitteen ruostumisen tai piastan epäpuhtautumisen.

Matala tiheys:

Etuna on, että vaikka SiC on erittäin jäykkää ja kovaa, se on suhteellisen kevyttä. Tämä on etuna liikkuvien osien massan vähentämisessä nopeissa koneissa.

• （1）Korkea huokoisuus ja tasainen huokoskoko mahdollistavat matalan vastuksen kaasun ja nesteen virralle sovelluksissa, hyvä jäykkyys ja mittojen stabiilius. Keraaminen materiaali on kovaa (Mohsin kovuus ≥8), kestää korkeita lämpötiloja (yli 500 °C) ja erilaisia hapon ja emäksen aiheuttamia syöpymiä. Sen käyttöikä on pitkä, 3–5-kertainen perinteisiin imupurskkeihin verrattuna.
• (2) Erinomainen kemiallinen kestävyys sekä happamissa että emäksisissä olosuhteissa, matala vastus kaasun ja nesteen virtaukselle sovelluksen läpi. Mikrometritason huokoinen rakenne varmistaa tasaisen imuyhteyden. Vaikka työkappaleen pinta olisi hieman epätasainen, se pysyy silti tiukasti kiinni. Se soveltuu erityisen hyvin erittäin ohuihin ja hauraisiin materiaaleihin, kuten lasiin ja piilevyihin.
• (3) Tasaiset huokoskoot ja suuret pinta-alat, hyvä happo- ja emäksiskestävyys. Pinta on sileä eikä siihen tartu materiaalia tai tukkeudu helposti, mikä vähentää merkittävästi puhdistusten ja huoltotaukojen tarvetta ja alentaa käyttökustannuksia

Sovellusskenaariot

• Piirisementti: Kiinteät piirikannattimet ja keraamiset kannattimet, sopivat automatisoidun tuotantolinjan nopean siirron ja asennonmittauksen vaatimuksiin
• Optisten linssien käsittely: Imeyskvartsilasia ja optisia linssejä, käytetään hionnassa, pinnoituksessa ja muissa prosesseissa estämään linssin muodonmuutoksia tai saastumista
• Muottien kiillotus: Kiinnitä tarkkuusmuottikuppi varmistaaksesi asemointivakauteen kiillotusprosessin aikana ja parantaaksesi pintakäsittelyä.
• Näytöntuotanto: OLED- ja LCD-näytön lasialustojen kiinnitys täyttämään vaatimukset tuhoamattomasta käsittelystä ja prosessoinnista erittäin ohuille alustoille 。
• Piipiirilevyjen/waferien käsittely: Fotolitografian, leikkauksen, hionnan ja muiden prosessien aikana imeytetään tarkasti 2–12 tuuman piipiirejä välttääkseen pintaviakoja ja varmistaaksesi käsittelytarkkuuden.
• Lääkintälaitteet: käytetään mikrosuihkupiirien, biopiirojen ja tarkan keraamisten komponenttien valmistukseen ja testaukseen.
• Akunvalmistus: Käytetään litiumakkujen elektrodiarkkien, kiinteiden elektrolyyttien ja polttokennojen bipolaarilevyjen tarkan käsittelyn ja prosessoinnin yhteydessä.
• PCB/FPC: Tarjoaa luotettavan tyhjiöimeytyskäsittelyn SMT-asennuksessa, AOI-tarkastuksessa, laserporaamisessa ja levyn erottelussa
• Ilmailu- ja avaruustekniikka sekä kansallinen puolustus: Sillä on merkitys elektroniikan, hitauslaitteiden ja ohjauskomponenttien erittäin tarkassa valmistuksessa.

Tekniset parametrit -taulukko