Chốt chân không gốm silicon carbide SiC vi xốp độ chính xác cao

Ưu Điểm Chính

Đế hút chân không SiC là gì?

Một đế hút chân không là thiết bị sử dụng lực hút (chân không) để cố định phôi trong quá trình gia công, mài hoặc kiểm tra, thay vì dùng các kẹp cơ học.

Một đế hút chân không SiC là loại được sản xuất đặc biệt từ vật liệu Silicon Carbide (SiC).

Tại sao Silicon Carbide (SiC) lại là vật liệu được lựa chọn?

Đây chính là vấn đề cốt lõi. SiC sở hữu sự kết hợp độc đáo các tính chất khiến nó lý tưởng cho ứng dụng đòi hỏi cao này:

Độ cứng và khả năng chống mài mòn vượt trội:

Lợi ích: SiC cực kỳ cứng (9,5 theo thang Mohs, gần bằng kim cương). Điều này giúp nó có khả năng chống mài mòn rất cao do phôi (thường là oxi silicon) và các mảnh vụn trong quá trình xử lý gây ra. Nhờ đó, bề mặt đế hút giữ được độ phẳng và không bị hư hại trong thời gian dài, dẫn đến tuổi thọ sử dụng lâu hơn và giảm thời gian ngừng máy.

Độ cứng vững vượt trội (Mô-đun Young cao):

Lợi ích: SiC không dễ bị uốn cong hoặc biến dạng dưới tải. Điều này cung cấp khả năng ổn định động vượt trội trong các quá trình tốc độ cao như mài hoặc gia công. Mâm cặp sẽ không rung hoặc méo, điều này rất quan trọng để đạt được dung sai dưới micron.

Tính chất Nhiệt Xuất sắc:

• Độ dẫn nhiệt cao: SiC tản nhiệt rất hiệu quả. Điều này ngăn ngừa hiện tượng "chạy nhiệt" khi nhiệt từ quá trình gia công tích tụ và làm biến dạng cả mâm cặp lẫn chi tiết gia công.
• Hệ số giãn nở nhiệt thấp: Kích thước của SiC thay đổi rất ít khi nhiệt độ dao động. Điều này đảm bảo mâm cặp luôn ổn định về kích thước ngay cả trong môi trường không kiểm soát nhiệt độ, duy trì độ phẳng chính xác.

Tính trơ hóa học tuyệt vời:

Lợi ích: Vật liệu chịu được hầu hết các axit, kiềm và dung môi được sử dụng trong sản xuất bán dẫn (ví dụ: trong các quy trình làm sạch như RCA clean). Điều này ngăn mâm cặp bị ăn mòn hoặc gây nhiễm bẩn cho các oxi.

Mật độ thấp:

Lợi ích: Mặc dù có độ cứng và độ cứng vững cao, SiC lại tương đối nhẹ. Điều này rất thuận lợi trong việc giảm khối lượng các bộ phận chuyển động trong máy móc tốc độ cao.

• （1）Độ xốp cao và kích thước lỗ xốp đồng đều giúp giảm thiểu trở kháng đối với dòng khí và chất lỏng trong các ứng dụng, độ cứng và ổn định kích thước tốt. Vật liệu gốm có độ cứng cao (độ cứng Mohs ≥8), chịu được nhiệt độ cao (lên tới trên 500°C), và chống lại sự ăn mòn của nhiều loại axit và kiềm. Tuổi thọ sử dụng dài, gấp 3 đến 5 lần so với các loại đế hút truyền thống.
• (2) Khả năng chống hóa chất tuyệt vời trong cả điều kiện axit và kiềm, độ cản thấp đối với dòng khí và dòng lỏng đi qua ứng dụng. Cấu trúc xốp ở cấp độ micron đảm bảo phân bố lực hút đồng đều. Ngay cả khi bề mặt vật liệu có độ gồ ghề nhẹ, vẫn có thể bám dính chắc chắn. Đặc biệt phù hợp với các vật liệu siêu mỏng và dễ vỡ như kính và tấm silicon.
• (3) Kích thước lỗ xốp đồng đều và diện tích bề mặt cao, khả năng chịu axit và kiềm tốt. Bề mặt nhẵn, không dễ bị bám dính vật liệu hay tắc nghẽn, giảm đáng kể tần suất vệ sinh và bảo trì dừng máy, từ đó hạ thấp chi phí vận hành

Các kịch bản ứng dụng

• Đóng gói chip: Các đế cố định chip và đế gốm, phù hợp với yêu cầu chuyển đổi và định vị tốc độ cao của các dây chuyền sản xuất tự động
• Xử lý thấu kính quang học: Hút giữ thủy tinh thạch anh và thấu kính quang học, sử dụng trong các quá trình đánh bóng, phủ lớp và các công đoạn khác để ngăn biến dạng hoặc nhiễm bẩn thấu kính
• Đánh bóng khuôn: Cố định buồng khuôn độ chính xác cao để đảm bảo sự ổn định vị trí trong quá trình đánh bóng và cải thiện độ hoàn thiện bề mặt.
• Sản xuất màn hình: Cố định các đế kính OLED và LCD để đáp ứng yêu cầu xử lý và gia công không gây hư hại cho các đế siêu mỏng 。
• Xử lý silicon wafer/wafer: Trong quá trình quang khắc, cắt, mài và các quy trình khác, hút chân không chính xác các wafer silicon kích thước 2-12 inch để ngăn ngừa trầy xước bề mặt và đảm bảo độ chính xác gia công.
• Thiết bị y tế: Được sử dụng trong sản xuất và kiểm tra chip vi lưu chất, chip sinh học và các thành phần gốm chính xác.
• Sản xuất pin: Được sử dụng để xử lý và gia công chính xác các tấm điện cực pin lithium, chất điện phân rắn và các tấm lưỡng cực của pin nhiên liệu.
• PCB/FPC: Cung cấp lực hút chân không đáng tin cậy trong quá trình lắp ráp SMT, kiểm tra AOI, khoan laser và tách bảng mạch
• Hàng không vũ trụ và Quốc phòng: Nó đóng một vai trò trong sản xuất siêu chính xác các thiết bị điện tử hàng không, thiết bị quán tính và các thành phần dẫn đường.

Bảng Thông Số Kỹ Thuật