उच्च अचूकतेचे सूक्ष्मपोरस सिलिकॉन कार्बाइड SiC सिरॅमिक वॅक्यूम चक

मुख्य फायदे

SiC व्हॅक्यूम चक काय आहे?

व्हॅक्यूम चक हे एक उपकरण आहे जे मशीनिंग, ग्राइंडिंग किंवा तपासणी दरम्यान कामगार तुकडा (वर्कपीस) स्थिर ठेवण्यासाठी चुणूक (व्हॅक्यूम) वापरते, यामध्ये यांत्रिक क्लॅम्पचा वापर होत नाही.

SiC व्हॅक्यूम चक हे विशेषतः सिलिकॉन कार्बाइडपासून तयार केलेले असते.

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) हे निवडीचे सामग्री का आहे?

हे या प्रश्नाचे मूलभूत कारण आहे. SiC मध्ये अशा गुणधर्मांचे अद्वितीय संयोजन आहे जे या कठोर अनुप्रयोगासाठी त्याला आदर्श बनवते:

अत्युत्तम कठोरता आणि घर्षण प्रतिरोधकता:

फायदा: SiC अत्यंत कठोर आहे (मोहस स्केलवर 9.5, हिराच्या जवळचे). यामुळे कामगार तुकड्यापासून (बहुतेक वेळा सिलिकॉन वेफर) आणि प्रक्रियेदरम्यान असलेल्या कोणत्याही कचऱ्यापासून होणार्‍या घर्षणाला ते अत्यंत प्रतिरोधक असते. यामुळे चकची सपाटी खूप काळ फ्लॅट आणि निर्दूष्ट राहते, ज्यामुळे त्याचे दीर्घ आयुष्य आणि कमी बंदवारीचा कालावधी शक्य होतो.

उत्कृष्ट कठोरता (उच्च यंग्स मॉड्यूलस):

फायदा: भाराखाली SiC सहजपणे वाकत नाही किंवा विकृत होत नाही. ग्राइंडिंग किंवा मशीनिंग सारख्या उच्च-गती प्रक्रियेदरम्यान अत्युत्तम गतिशील स्थिरता प्रदान करते. चक वाजू शकत नाही किंवा विकृत होऊ शकत नाही, जे सब-माइक्रॉन सहिष्णुता प्राप्त करण्यासाठी महत्त्वाचे आहे.

उत्कृष्ट उष्णता गुणधर्म:

• उच्च उष्णता वाहकता: SiC उष्णता अत्यंत प्रभावीपणे पसरवतो. यामुळे मशीनिंग प्रक्रियेतून उष्णता गोळा होऊन चक आणि कामाच्या तुकड्या दोघांनाही विकृत करणाऱ्या "थर्मल रनअवे" ला रोखले जाते.
• कमी उष्णता प्रसरण: तापमानातील चढ-उतारांमुळे SiC च्या मितीत फारशी बदल होत नाही. तापमान नियंत्रित नसलेल्या वातावरणातही चक आकारात स्थिर राहतो आणि त्याची अत्यंत नेमकीपणाची सपाटपणा कायम राखतो.

उत्कृष्ट रासायनिक निष्क्रियता:

फायदा: अर्धसंवाहक उत्पादनामध्ये वापरल्या जाणाऱ्या बहुतेक अम्ल, क्षार आणि द्रावकांप्रति (उदा., RCA स्वच्छता सारख्या स्वच्छता प्रक्रियांमध्ये) त्याची प्रतिकारशक्ती असते. यामुळे चक जंगले नये किंवा वेफर्स दूषित होणे टाळले जाते.

कमी घनता:

फायदा: उत्कृष्ट कठोरता आणि भारीपणा असूनही, SiC चे वजन तुलनात्मक रीत्या कमी असते. हे उच्च-गतीच्या यंत्रसामग्रीमधील हालचालीच्या भागांचे वस्तुमान कमी करण्यासाठी फायदेशीर आहे.

• (1) उच्च छिद्रता आणि एकसमान छिद्राचे आकार यामुळे वायू आणि द्रव प्रवाहासाठी कमी अवरोध शक्य होतो, चांगली कठोरता आणि मिती स्थिरता. भाजलेल्या मातीच्या द्रव्यामध्ये उच्च कठोरता (मोहस कठोरता ≥8) असते, उच्च तापमान सहन करू शकते (500°C पेक्षा जास्त), आणि विविध आम्ल आणि क्षार संक्षोभांना प्रतिरोधक असते. याचा दीर्घ वापर आयुष्य असते, जे पारंपारिक सक्शन कपच्या 3 ते 5 पट असते.
• （2）अम्ल आणि क्षारयुक्त परिस्थितीत उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिकारसमर्थता, वायू आणि द्रव प्रवाहासाठी कमी अवरोध. माइक्रॉन-स्तरीय सूक्ष्म रचना समान शोषण वितरण सुनिश्चित करते. जरी कामगिरीच्या पृष्ठभागावर थोडीशी असमतलता असेल तरीही ते घट्टपणे चिकटून राहते. हे काच आणि सिलिकॉन वेफर सारख्या अत्यंत पातळ आणि भंगुर सामग्रीसाठी विशेषतः योग्य आहे.
• （3）समान छिद्रांचे आकार आणि उच्च पृष्ठभाग क्षेत्र, चांगली अम्ल आणि क्षार प्रतिकारसमर्थता. पृष्ठभाग चिकण असून सामग्रीच्या चिकटणे किंवा गुंतणे होण्याची शक्यता कमी असते, ज्यामुळे स्वच्छतेची आणि बंद ठेवून दुरुस्तीची वारंवारता लक्षणीयरीत्या कमी होते आणि कार्यात्मक खर्च कमी होतो

अनुप्रयोग परिदृश्य

• चिप पॅकेजिंग: निश्चित चिप सबस्ट्रेट्स आणि सिरॅमिक सबस्ट्रेट्स, ऑटोमेटेड उत्पादन लाइन्सच्या उच्च-वेगाने हस्तांतरण आणि स्थिती निश्चित करण्याच्या आवश्यकतांसाठी योग्य
• ऑप्टिकल लेन्स प्रक्रिया: क्वार्ट्स ग्लास आणि ऑप्टिकल लेन्सेस आकर्षित करते, पॉलिशिंग, कोटिंग आणि इतर प्रक्रियांमध्ये वापरले जाते जेणेकरून लेन्सचे विकृती किंवा दूषित होणे टाळता येईल
• साचा पॉलिशिंग: उच्च-अचूकता साचा कुंडलाची निश्चिती करा जेणेकरून पॉलिशिंग प्रक्रियेदरम्यान स्थिती स्थिर राहील आणि पृष्ठभागाची पूर्णता सुधारेल.
• डिस्प्ले उत्पादन: अत्यंत पातळ सब्सट्रेट्सच्या नॉन-डिस्ट्रक्टिव्ह हाताळणी आणि प्रक्रियेच्या आवश्यकतांप्रमाणे OLED आणि LCD ग्लास सब्सट्रेट्स बसवणे 。
• सिलिकॉन वेफर/वेफर प्रक्रिया: फोटोलिथोग्राफी, कटिंग, ग्राइंडिंग आणि इतर प्रक्रियांदरम्यान 2-12 इंच सिलिकॉन वेफर्स अचूकपणे आकर्षित करा जेणेकरून पृष्ठभागावर स्क्रॅच येणे टाळता येईल आणि प्रक्रियेची अचूकता सुनिश्चित होईल.
• वैद्यकीय उपकरणे: माइक्रोफ्लुइडिक चिप्स, बायोचिप्स आणि अचूक सिरॅमिक घटकांच्या उत्पादन आणि चाचणीसाठी वापरले जाते.
• बॅटरी उत्पादन: हे लिथियम बॅटरी इलेक्ट्रोड शीट्स, घन इलेक्ट्रोलाइट्स आणि इंधन सेल बायपोलर प्लेट्सच्या अचूक हाताळणी आणि प्रक्रियेसाठी वापरले जाते.
• पीसीबी/एफपीसी: एसएमटी असेंब्ली, एओआय तपासणी, लेझर ड्रिलिंग आणि पॅनेल विभाजन दरम्यान विश्वासार्ह वॅक्यूम अधिशोषण प्रदान करते
• एअरोस्पेस आणि राष्ट्रीय संरक्षण: हे एव्हिओनिक्स, जडत्वीय उपकरणे आणि मार्गदर्शन घटकांच्या अत्यंत अचूक उत्पादनात भूमिका बजावते.

तांत्रिक पॅरामीटर तक्ता