Високопрецизни микропорозни вакуумски чеп од карбида силицијума SiC

Glavna Prednost

Šta je SiC vakuumski stezač?

Vakuumski stezač je uređaj koji koristi usis (vakuum) da bi držao predmet obrade na mestu tokom mašinske obrade, brušenja ili inspekcije, umesto korišćenja mehaničkih stezaljki.

SiC vakuumski stezač je onaj koji je posebno izrađen od silicijum karbida.

Zašto je silicijum karbid (SiC) materijal izbora?

Ovo je srž pitanja. SiC poseduje jedinstvenu kombinaciju svojstava koja ga čine idealnim za ovu zahtevnu primenu:

Izuzetna tvrdoća i otpornost na habanje:

Prednost: SiC je izuzetno tvrd (9,5 po Mohovoj skali, blizu dijamanta). To ga čini visoko otpornim na abraziju od strane predmeta obrade (često silicijumska pločica) i od bilo kakvih ostataka tokom procesa. Ovo osigurava da površina stezača ostane ravna i neoštećena veoma dugo, što dovodi do dužeg veka trajanja i manjeg broja zastoja.

Superiorna krutost (visok Jungov modul)

Prednost: SiC se ne savija niti lako deformiše pod opterećenjem. Ovo obezbeđuje izuzetnu dinamičku stabilnost tokom visokobrzinskih procesa poput brušenja ili obrade. Stezna glava neće vibrirati niti se izobličiti, što je od ključne važnosti za postizanje tolerancija ispod mikrona.

Istaknute termičke osobine:

• Visoka termička provodljivost: SiC veoma efikasno rasipa toplotu. To sprečava „termički ubeg“ gde toplota iz procesa obrade raste i izobličuje kako steznu glavu tako i predmet obrade.
• Niska termička ekspanzija: Dimenzije SiC-a se veoma malo menjaju sa promenama temperature. Ovo osigurava da stezna glava ostane dimenziono stabilna čak i u uslovima bez kontrolisane temperature, održavajući preciznu ravnotežu.

Izuzetna hemijska inertnost:

Prednost: Otporan je na većinu kiselina, alkalija i rastvarača koji se koriste u proizvodnji poluprovodnika (npr. u procesima čišćenja kao što je RCA čišćenje). Ovo sprečava koroziju stezne glave ili kontaminaciju pločica.

Niska gustoća:

Prednost: Упркос великој чврстоћи и крутости, SiC је релативно лак. Ово је предност код смањења масе покретних делова у високобрзинској опреми.

• （1）Visoka poroznost i uniformna veličina pora omogućavaju niski otpor protoku gasa i tečnosti kroz aplikacije, dobra krutost i dimenziona stabilnost. Keramički materijal ima visoku tvrdoću (Mohsova tvrdoća ≥8), može podneti visoke temperature (do preko 500°C) i otporan je na različite kiseline i lužine. Ima dug vek trajanja, koji je 3 do 5 puta duži od tradicionalnih usisnih ploča.
• (2) Изузетна хемијска отпорност у киселим и алкалним условима, низак отпор пролазу гасова и течности кроз примену. Порозна структура на нивоу микрона осигурава равномерну дистрибуцију сисања. Чак и ако површина предмета има благе неравности, и даље се чврсто придржава. Посебно је погодно за ултра-танке и крхке материјале као што су стакло и силицијумске плочице.
• (3) Равномерне величине пора и висока површина, добра отпорност на киселине и базе. Површина је глатка и не склона прилипању материјала или зачепљењу, значајно смањује учесталост чишћења и заустављања одржавања и смањује трошкове рада

Сценарији примене

• Паковање чипа: фиксни супстрати чипова и керамички супстрати, погодни за захтеве брзог трансфера и позиционирања на аутоматизованим производним линијама
• Обрада оптичких сочива: адсорбује кварцно стакло и оптичка сочива, користи се у процесима полирanja, прекривања и другим процесима како би се спречило деформисање или контаминација сочива
• Полирање калупа: Фиксирајте високопрецизну шупљину калупа како бисте осигурали стабилност положаја током процеса полирања и побољшали завршну обраду површине.
• Производња дисплеја: Учвршћивање OLED и LCD стаклених супстрата ради испуњавања захтева ненамерног руковања и обраде ултра-тanksих супстрата 。
• Обрада силицијумских плочица/вифера: Током фотолитографије, резања, брушења и других процеса, прецизно апсорбујте 2-12 инчне силицијумске плочице како бисте спречили оштећења површине и осигурали тачност обраде.
• Медицинска опрема: користи се за производњу и тестирање микрофлуидних чипова, биочипова и прецизних керамичких делова.
• Производња батерија: користи се за прецизно руковање и обраду електродних лимова литијумских батерија, чврстих електролита и биполарних плоча горивих ћелија.
• PCB/FPC: Омогућава поуздано вакуумско апсорбовање током SMT склапања, AOI инспекције, ласерског бушења и одвајања табли
• Ваздухопловство и национална одбрана: има улогу у ултра-прецизној производњи авионике, инерцијалних уређаја и компонената за вођење.

Табела техничких параметара