Yüksek hassasiyetli mikro gözenekli silisyum karbür SiC seramik vakum chuck

Temel Avantajlar

SiC Vakum Pensı nedir?

Bir vakum pensi, iş parçasını işleme, taşlama veya muayene sırasında mekanik kelepçeler kullanmak yerine emme (vakum) ile sabitlemek için kullanılan bir cihazdır.

SiC Vakum Pens, özellikle Silisyum Karbür'den (SiC) imal edilmiş bir pembedir.

Neden Silisyum Karbür (SiC) Tercih Edilen Malzemedir?

İşin özü budur. SiC, bu zorlu uygulama için onu ideal hale getiren eşsiz özellikler kombinasyonuna sahiptir:

Olağanüstü Sertlik ve Aşınma Direnci:

Avantaj: SiC son derece serttir (Mohs skalasında 9,5, elmasa yakındır). Bu özelliği sayesinde iş parçasının (genellikle silikon waffer) ve süreçteki herhangi bir artıkların neden olduğu aşınmaya karşı yüksek direnç gösterir. Bu da pens yüzeyinin çok uzun süre düz ve hasarsız kalmasını sağlar ve daha uzun kullanım ömrü ile daha az duruş süresi sağlar.

Üstün Sağlamlık (Yüksek Young Modülü):

Avantaj: SiC, yük altında kolayca bükülmez veya deforme olmaz. Bu, taşlama veya işleme gibi yüksek hızda yapılan işlemlerde olağanüstü dinamik stabilite sağlar. Aynanın titreşmesi veya bozulması söz konusu değildir ve bu durum alt mikron toleransların sağlanmasında kritik öneme sahiptir.

Olağanüstü Termal Özellikler:

• Yüksek Isı İletkenliği: SiC, ısıyı çok etkili bir şekilde dağıtır. Bu, işleme sürecinden kaynaklanan ısının artmasına ve hem ayna ile iş parçasının bozulmasına neden olan "termal kaçış"ı önler.
• Düşük Termal Genleşme: SiC'nin boyutları sıcaklık dalgalanmalarına karşı çok az değişir. Bu, aynanın sıcaklık kontrollü olmayan ortamlarda bile boyutsal olarak kararlı kalmasını ve hassas düzlemliğini korumasını sağlar.

Mükemmel Kimyasal İnertlik:

Avantaj: Yarı iletken üretiminde kullanılan çoğu asit, alkali ve çözücüye (örneğin RCA temizleme gibi temizleme süreçlerinde) karşı dirençlidir. Bu durum, aynanın aşınmasını veya wafer'ların kontaminasyonuna neden olmasını engeller.

Düşük yoğunluk:

Avantaj: Yüksek sertliği ve katılığına rağmen SiC nispeten hafiftir. Bu durum, yüksek hızlı makinelerde hareketli parçaların kütlesini azaltmak açısından avantajlıdır.

• （1）Yüksek gözeneklilik ve uniform gözenek boyutu, hem gaz hem de sıvı akış uygulamalarında düşük direnç sağlar, iyi rijitlik ve boyutsal stabilite. Seramik malzeme yüksek sertliğe (Mohs sertliği ≥8), yüksek sıcaklığa (500°C'nin üzerine kadar) dayanıklıdır ve çeşitli asit ve alkali korozyonlarına karşı dirençlidir. Geleneksel emme çubuklarının 3 ila 5 katı ömre sahiptir.
• (2) Hem asidik hem de alkali koşullarda mükemmel kimyasal direnç, gaz ve sıvı akışına düşük direnç. Mikron seviyesindeki gözenekli yapı, eşit emme dağılımını sağlar. İş parçası yüzeyi hafif engebeli olsa bile sağlam şekilde yapışır. Cam ve silikon wafer gibi ultra ince ve kırılgan malzemeler için özellikle uygundur.
• (3) Eşit gözenek boyutları ve yüksek yüzey alanları, iyi asit ve alkali direnci. Yüzey düzgün olup malzeme yapışmasına veya tıkanmaya yatkın değildir, bu da temizlik ve durdurma bakımı sıklığını önemli ölçüde azaltarak işletme maliyetlerini düşürür.

Uygulama Szenaryoları

• Yonga ambalajı: Sabit yonga alttaşları ve seramik alttaşlar, otomatik üretim hatlarının yüksek hızlı transfer ve konumlandırma gereksinimleri için uygundur
• Optik lens işleme: Kuvars cam ve optik lensleri emer, lens deformasyonunu veya kontaminasyonu önlemek için parlatma, kaplama ve diğer işlemlerde kullanılır
• Kalıp parlatma: Parlatma işlemi sırasında konumsal stabiliteyi sağlamak ve yüzey kalitesini artırmak için yüksek hassasiyetli kalıp boşluğunu sabitleyin.
• Ekran üretimi: OLED ve LCD cam alttaşlarının sabitlenmesi, ultra ince alttaşların bozulmadan işlenebilmesi ve taşınabilmesi требования karşılamak için önemlidir. 。
• Silikon wafer/wafer işleme: Fotolitografi, kesme, taşlama ve diğer işlemler sırasında yüzey çizilmelerini önlemek ve işleme doğruluğunu sağlamak için 2-12 inç silikon waferleri hassas olarak eminleştirin.
• Tıbbi cihazlar: Mikroakışkan çiplerinin, biyoçiplerin ve hassas seramik bileşenlerin üretiminde ve test edilmesinde kullanılır.
• Pil üretimi: Lityum pil elektrot levhalarının, katı elektrolitlerin ve yakıt hücresi bipolar plakalarının hassas şekilde taşınması ve işlenmesi için kullanılır.
• PCB/FPC: SMT montajı, AOI muayenesi, lazer delme ve panel ayırma sırasında güvenilir vakum emiş sağlar.
• Havacılık ve Ulusal Savunma: Aviyonik, atalet cihazları ve rehberlik bileşenlerinin ultra hassas imalatında bir rol oynar.

Teknik Parametreler Tablosu