Hoë presisie mikroporieuse silikonkarbied SiC keramiese vakuumhouer

Kernvoordeliges

Wat is 'n SiC-Vakuumklou?

'n Vakuumklou is 'n toestel wat suigkrag (vakuum) gebruik om 'n werkstuk op sy plek te hou tydens masjinering, slyping of inspeksie, in plaas van meganiese klemme.

'n SiC-Vakuumklou is een wat spesifiek uit Silikonkarbied vervaardig is.

Hoekom is Silikonkarbied (SiC) die materiaal van keuse?

Dit is die kern van die saak. SiC besit 'n unieke kombinasie van eienskappe wat dit ideaal maak vir hierdie veeleisende toepassing:

Uitstekende Hardheid en Slijtvastheid:

Voordeel: SiC is baie hard (9,5 op die Mohs-skaal, naby diamant). Dit maak dit hoogs bestand teen slytasie vanaf die werkstuk (dikwels 'n silikonwafer) en vanaf enige afvalmateriaal tydens verwerking. Dit verseker dat die klou se oppervlak lank plat en onbeskadig bly, wat lei tot 'n langer bedryfslewe en minder stilstand.

Superieure Styfheid (Hoë Young-se modulus):

Voordeel: SiC buig of vervorm nie maklik onder las nie. Dit bied uitstekende dinamiese stabiliteit tydens hoë-snelheidsprosesse soos slyp of masjineren. Die klessis sal nie vibreer of vervorm nie, wat noodsaaklik is om submikron-toleransies te bereik.

Uitstekende Termiese Eienskappe:

• Hoë Termiese Geleidingsvermoë: SiC versprei hitte baie effektief. Dit voorkom 'termiese deurbranding' waar hitte van die masjineringsproses opbou en beide die klessis en die werkstuk vervorm.
• Lae Termiese Uitsetting: SiC se afmetings verander baie min met temperatuurswankings. Dit verseker dat die klessis dimensioneel stabiel bly selfs in omgewings sonder temperatuurbeheer, en sy presiese platheid behou.

Uitstekende Chemiese Inersheid:

Voordeel: Dit is bestand teen meeste sure, alkalië en oplosmiddels wat in halfgeleierfabrikasie gebruik word (bv. in skoonmaakprosesse soos RCA-skoonmaak). Dit voorkom dat die klessis korrodeer of die skyfies besoedel.

Laag digtheid:

Voordelige: Ten spyte van sy groot styfheid en hardheid, is SiC relatief lig van gewig. Dit is voordelig om die massa van bewegende dele in hoë-spoed masjinerie te verminder.

• （1）Hoë porositeit en eenvormige poorgrootte verseker lae weerstand vir gas- en vloeistofdeurstroming toepassings, Goed styf en dimensionele stabiliteit. Keramiese materiaal het 'n hoë hardheid (Mohs-hardheid ≥8), kan hoë temperature weerstaan (tot meer as 500°C), en is bestand teen verskeie suur- en alkali-korrosies. Dit het 'n lang bedryfslewe, wat 3 tot 5 keer langer is as tradisionele suiers.
• (2) Uitstekende chemiese bestandigheid in beide suur- en alkaliese toestande, lae weerstand vir gas- en vloeistofdeurgang deur toepassing. Die mikronvlak poriese struktuur verseker eenvormige suigkragverspreiding. Selfs indien die werkstukoppervlak effens ongelyk is, kan dit steeds stewig vasheg. Dit is veral geskik vir ultradun en brose materiale soos glas en silikonwaafers.
• (3) Ewe groot poriegroottes en hoë oppervlakareas, goeie suur- en alkali-bestandigheid. Die oppervlak is glad en nie geneig tot materiaalhegting of verstopping nie, wat die skoonmaak- en afbreekonderhoud aansienlik verminder en bedryfkoste verlaag

Aansoek scenario's

• Chipsverpakking: Vaste chip-substrate en keramiese substrate, geskik vir die hoë-spoed oordrag- en posisioneringsvereistes van geoutomatiseerde produksielyne
• Optiese lensverwerking: Adsorbeer kwartsglas en optiese lense, gebruik in poelssing, bedekking en ander prosesse om lensvervorming of besoedeling te voorkom
• Molvrywing: Pas die hoë-presisie molholte aan om posisionele stabiliteit tydens die vrywingsproses te verseker en die oppervlakafwerking te verbeter.
• Vertoon vervaardiging: Vaste OLED- en LCD-glas substate om aan die vereistes te voldoen van nie-destruktiewe hantering en verwerking van ultra-dun substate 。
• Silikonwafer/waferverwerking: Tydens fotolitografie, sny-, slyp- en ander prosesse, word 2-12 duim silikonwafers presies geabsorbeer om oppervlakkrappe te voorkom en verwerkingsakkuraatheid te verseker.
• Mediese toestelle: gebruik vir die vervaardiging en toetsing van mikrofluidiese skyfies, biologiese skyfies en presisie keramiese komponente.
• Batterysvervaardiging: dit word gebruik vir die presiese hantering en verwerking van litiumbatteryelektrodeblaaie, vaste elektroliete en brandstofsel bipolêre plate.
• PCB/FPC: Dit bied betroubare vakuumadsorpsie tydens SMT-montering, AOI-inspeksie, laserboor en paneelskeiding
• Lugvaart- en nasionale verdediging: Dit speel 'n rol in die uiterste presisie vervaardiging van avionika, traagheidsapparate en rigtingskomponente.

Tegniese Parameters Tabel