Chuck vakum keramik silikon karbida SiC mikropori presisi tinggi

Keunggulan Inti

Apa itu SiC Vacuum Chuck?

Vacuum chuck adalah perangkat yang menggunakan hisapan (vakum) untuk memegang benda kerja agar tetap pada posisinya selama proses pemesinan, penggerindaan, atau pemeriksaan, alih-alih menggunakan penjepit mekanis.

SiC Vacuum Chuck adalah vacuum chuck yang secara khusus dibuat dari Silicon Carbide.

Mengapa Silicon Carbide (SiC) Menjadi Bahan Pilihan?

Inilah inti permasalahannya. SiC memiliki kombinasi unik sifat-sifat yang membuatnya sangat ideal untuk aplikasi yang menuntut ini:

Kekerasan Luar Biasa dan Tahan Aus:

Manfaat: SiC sangat keras (9,5 pada skala Mohs, hampir setara dengan berlian). Hal ini membuatnya sangat tahan terhadap abrasi dari benda kerja (yang sering kali berupa wafer silikon) maupun dari kotoran selama proses produksi. Ini memastikan permukaan chuck tetap rata dan tidak rusak dalam jangka waktu lama, sehingga menghasilkan masa pakai lebih panjang dan mengurangi waktu henti.

Kekakuan Unggul (Modulus Young Tinggi):

Manfaat: SiC tidak mudah melengkung atau berubah bentuk di bawah beban. Hal ini memberikan stabilitas dinamis yang luar biasa selama proses kecepatan tinggi seperti penggerindaan atau permesinan. Chuck tidak akan bergetar atau mengalami distorsi, yang sangat penting untuk mencapai toleransi sub-mikron.

Sifat Termal yang Luar Biasa:

• Konduktivitas Termal Tinggi: SiC sangat efektif dalam menghantarkan panas. Ini mencegah "thermal runaway" di mana panas dari proses permesinan menumpuk dan menyebabkan distorsi pada chuck maupun benda kerja.
• Ekspansi Termal Rendah: Dimensi SiC berubah sangat sedikit terhadap fluktuasi suhu. Ini memastikan chuck tetap stabil secara dimensional bahkan di lingkungan yang tidak terkontrol suhunya, sehingga mempertahankan kerataan yang presisi.

Ketahanan Kimia yang Sangat Baik:

Manfaat: Material ini tahan terhadap sebagian besar asam, alkali, dan pelarut yang digunakan dalam fabrikasi semikonduktor (misalnya, dalam proses pembersihan seperti RCA clean). Hal ini mencegah chuck mengalami korosi atau mencemari wafer.

Kepadatan rendah:

Manfaat: Meskipun memiliki kekakuan dan kekerasan yang tinggi, SiC relatif ringan. Hal ini menguntungkan untuk mengurangi massa bagian-bagian yang bergerak pada mesin berkecepatan tinggi.

• （1）Porositas tinggi dan ukuran pori yang seragam memungkinkan hambatan rendah untuk aliran gas dan cairan, kekakuan serta stabilitas dimensi yang baik. Material keramik memiliki kekerasan tinggi (kekerasan Mohs ≥8), tahan terhadap suhu tinggi (hingga lebih dari 500°C), serta tahan terhadap berbagai korosi asam dan alkali. Memiliki umur pemakaian yang panjang, yaitu 3 hingga 5 kali lipat dibandingkan dengan suction cup tradisional.
• (2) Ketahanan kimia yang sangat baik dalam kondisi asam maupun basa, hambatan rendah terhadap aliran gas dan cairan melalui aplikasi. Struktur pori tingkat mikron memastikan distribusi hisapan yang seragam. Bahkan jika permukaan benda kerja sedikit tidak rata, alat ini tetap dapat menempel dengan kuat. Sangat cocok untuk material ultra-tipis dan rapuh seperti kaca dan wafer silikon.
• (3) Ukuran pori yang seragam dan luas permukaan yang tinggi, ketahanan asam dan alkali yang baik. Permukaan halus dan tidak mudah menempel atau tersumbat oleh material, secara signifikan mengurangi frekuensi pembersihan dan perawatan berhenti produksi, serta menurunkan biaya operasional

Skenario Aplikasi

• Pengemasan chip: Substrat chip tetap dan substrat keramik, cocok untuk kebutuhan transfer dan posisi kecepatan tinggi pada lini produksi otomatis
• Pengolahan lensa optik: Menyerap kaca kuarsa dan lensa optik, digunakan dalam proses poles, pelapisan, dan lainnya untuk mencegah deformasi atau kontaminasi lensa
• Pemolesan cetakan: Memasang rongga cetakan presisi tinggi untuk memastikan stabilitas posisi selama proses pemolesan dan meningkatkan hasil akhir permukaan.
• Pembuatan tampilan: Memasang substrat kaca OLED dan LCD untuk memenuhi persyaratan penanganan dan pemrosesan substrat ultra-tipis tanpa merusak 。
• Pemrosesan silikon wafer/wafer: Selama proses litografi, pemotongan, penggilingan, dan lainnya, secara presisi menghisap wafer silikon berukuran 2-12 inci untuk mencegah goresan permukaan dan memastikan akurasi pemrosesan.
• Perangkat medis: Digunakan untuk pembuatan dan pengujian chip mikrofluida, biochip, serta komponen keramik presisi.
• Manufaktur baterai: Digunakan untuk penanganan dan pemrosesan presisi lembaran elektroda baterai lithium, elektrolit padat, dan pelat bipolar sel bahan bakar.
• PCB/FPC: Memberikan hisapan vakum yang andal selama perakitan SMT, inspeksi AOI, pengeboran laser, dan pemisahan panel
• Aerospace dan Pertahanan Nasional: Memainkan peran dalam manufaktur ultra-presisi avionik, perangkat inersia, dan komponen panduan.

Tabel Parameter Teknis