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핵심 장점
SiC 진공 척이란 무엇인가?
진공 척은 가공, 연마 또는 검사 중에 기계적 클램프를 사용하는 대신 흡입(진공)을 이용하여 작업물을 고정시키는 장치이다.
SiC 진공 척은 실리콘 카바이드(SiC)로 특별히 제작된 것이다.
왜 실리콘 카바이드(SiC)가 선호되는 재료인가?
이것이 핵심이다. SiC는 이러한 요구 조건이 높은 응용 분야에 이상적인 독특한 특성 조합을 가지고 있다.
탁월한 경도 및 내마모성:
장점: SiC는 매우 단단하며(모스 경도 9.5, 다이아몬드에 근접), 작업물(대개 실리콘 웨이퍼)이나 공정 중 이물질로부터의 마모에 강하다. 이를 통해 척 표면이 오랜 시간 동안 평탄하고 손상되지 않으며, 결과적으로 수명이 길어지고 가동 중지 시간이 줄어든다.
우수한 강성(높은 영률):
장점: SiC는 하중이 가해져도 쉽게 휘거나 변형되지 않습니다. 이로 인해 연삭 또는 가공과 같은 고속 공정 중에도 뛰어난 동적 안정성을 제공합니다. 척이 진동하거나 왜곡되지 않으므로 서브 마이크론 수준의 허용오차를 달성하는 데 매우 중요합니다.
탁월한 열적 특성:
우수한 화학적 불활성:
장점: 반도체 제조 공정(예: RCA 클리닝과 같은 세정 공정)에서 사용되는 대부분의 산, 알칼리 및 용매에 저항성이 있어 척이 부식되거나 웨이퍼를 오염시키는 것을 방지합니다.
낮은 밀도:
장점: SiC는 뛰어난 강성과 경도를 가지고 있음에도 비교적 가볍다. 이는 고속 기계의 움직이는 부품 질량을 줄이는 데 유리하다.
애플리케이션 시나리오
기술 사양 표
재산 |
대표값 / 설명 |
에어레이션에서의 중요성 |
재질 구성 |
>90% 탄화규소(SiC) 및 소결 보조제 포함. |
극도의 경도와 화학적 안정성을 제공함. |
색상 |
진회색에서 검정색 |
- |
성 |
40% - 50% |
공극 부피가 커서 압력 손실이 낮은 상태에서 높은 공기 유량을 확보할 수 있습니다. |
평균 기공 크기 |
50 - 200마이크론 (맞춤 설정 가능) |
버블의 크기를 결정합니다. 작은 기공(<100µm)은 산소 전달 효율이 뛰어난 미세한 버블을 생성합니다. |
밀도 |
1.8 - 2.2 g/cm³ |
- |
굽힘 강도 |
25 - 45 MPa |
높은 기계적 강도로 취급 및 설치 시 발생하는 응력에 의한 균열에 저항합니다. |
압축 강도 |
100 - 200 MPa |
깊은 탱크/연못의 바닥에서도 상당한 수압을 견디며 변형되지 않습니다. |
경도 |
모스 경도 9.0 - 9.5 |
매우 마모에 강함. 부유 고형물이 있는 환경에서 이상적임. |
화학물질 저항성 |
탁월함. 모든 pH 수준(1-14)에 대해 불활성이며, 산화, 용매 및 생물학적 공격에 저항력 있음. |
악조건의 폐수, 염수 또는 산, 알칼리, 과산화수소와 같은 강한 세척제 사용 시에도 열화되지 않음. |
열 안정성 |
공기 중에서 최대 1600°C까지 가능. |
완고한 유기 오염 물질을 태우기 위해 열 세척(로 세척)이 가능하며, 이는 유지 관리 측면에서 중요한 장점입니다. |
표면 특성 |
친수성(물과 친화적임) |
낮은 압력에서도 기포가 쉽게 형성되며, '고정(pinning)' 현상이나 큰 기포로 융합되는 것을 저항함. |
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